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INFICON气体分析仪MPS100F

MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供 100 amu 和 200 amu 两种版本,能够灵活地执行各种功能,包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。

产品介绍

MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供 100 amu 和 200 amu 两种版本,能够灵活地执行各种功能,包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。

性能特点

  • 双灯丝
  • 现场可更换电子倍增器
  • 可现场更换的阳极、阴极和排斥极灯丝组件
  • 可互换的传感器和电子设备
  • TCP/IP 以太网连接
  • 较短的传感器可max限度地减少安装空间
  • max模拟扫描和选定峰值的每点数据速率为 3 ms
  • MDPP <1.5E-14 Torr
  • 传感器在洁净室环境中组装、测试和双重包装

技术参数

  • 传感器长度:14.3 厘米
  • 质量范围:100 amu
  • 探测器类型:FC
  • 灵敏度 (FC):3E-4 amps/Torr
  • 灵敏度 (EM):NA
  • min可检测分压 (3):2.6E-12 Torr
  • max传感器工作温度 (FC):200°C
  • max传感器工作温度 (EM):不适用
  • 灯丝类型选项:双 Y2O3/Ir 灯丝
  • 分辨率 (1):<1 amu 宽
  • 温度系数 (2):<1%/°C
  • 每点max数据速率:3 ms
  • 零爆炸(@质量 2):<100 ppm
  • max工作压力:5E-4 Torr
  • max烘烤温度:300 °C
  • 电源输入:20-30 VDC

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