SIERRA流量计SmartTrak 50系列

SmartTrak 50系列经过优化，具有长期过程控制应用所需的稳定性、可靠性和操作简单性，以经济的价格提供高精度和可靠的气体质量流量控制。max流量范围从50 slpm增加到200slpm。这使得它非常适合控制晶圆清洁和抛光操作中使用的载气，或PVD和其他半导体操作中的吹扫控制。它还擅长一般应用中常见气体的质量流量控制。模拟和数字输入和输出均可用，使 50系列能够与较旧的模拟系统或新的多点数字工具一起使用。零位和跨度的现场调整使校准中的小调整能够与现场过程保持一致条件。

• 控制气体质量流量至 200 slpm (nlpm)
• 针对长期过程控制优化的稳定性和可靠性
• 非常适合控制晶圆清洁和抛光操作中使用的载气
• 广泛用于物理气相沉积 (PVD) 和其他半导体工艺应用的腔室吹扫操作
• 精度：普通气体（空气、Ar、CO2、CO、CH4、He、H2、O2、N2）的 +/- 1.0% 满量程
• 重复性：+/- 0.25% 满量程
• 先进的 316L SS 铂传感器技术和专利 LFE 提供良好的线性性能
• 铝或 316 SS 流动体，带 Viton 弹性体
• 带有可选模拟设定值/输出信号的本地显示和数字设定值控制
• RS-232 与 PLC 或工作站轻松连接（提供用户软件）
• 现场可调零位和跨度
• RS-485（可寻址）支持在复杂半导体工具内联网
• 强大的直动式控制阀可max限度地减少泄漏

• 精度：满量程的 +/- 1.0%，包括在 32° 至 122°F（0° 至 50°C）和 5 至 145 psig（0.3 至 10 barg）的校准条件下的线性度，适用于常见气体：空气、Ar、CO2 、CO、CH4、He、H2、O2、N2。
• 重复性：+/- 0.25% of full scale
• 温度系数：0.025% of full scale per°F（0. 05% of full scale per °C）或更好
• 压力系数：0.01%of full scale per psi（0.15% of full scale per bar）或更好
• 响应时间：2 秒（典型值）到终值的 +/- 2% 以内，包括设置时间。50系列可调整为更快或更慢（咨询工厂）