直接叶轮温度测量技术使操作范围增加
定制阶段和后端口位置选择的额外灵活性
nEXT85中的轴承和墨盒完全可以最终用户使用
CMSD启用低振动水平
具有微型USB端口和Edwards nST软件的智能泵,允许泵监控,控制和配置
全套定制配件
增强客户标准和压缩重点变化的选择
nEXT85涡轮分子泵基于EXT75DX的成功,以更小的封装提供具有显着改进性能的泵。转子已经完全重新设计,以优化泵性能,实现更高的速度和更高的压缩,同时保持高水平的可靠性。 除了增强的性能外,nEXT85还可以获得来自较大的nEXT系列的相同服务和操作功能,包括现场可维护性和内置智能,为产品提供了便利。
泵速度
NW40:48 L/sec(cfm)
ISO63:84 L/sec(cfm)
4.50"CF(DN63CF):84 L/sec (cfm)
压缩比
N2:> 1.0×1011
Ar:1.0×109
He:8.5 x 106
H2:2.1×105
入口法兰:DN63CF(4.50"外径)
前缘法兰:KF16
最大前缘压力:7.5Torr(10mbar)
方向:垂直直立到90%
冷却方式:环境空气(强制空气和水冷)
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