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BRONKHORST气体流量计FF-M1x

FLEXI-FLOW紧凑型FF-M10和FF-M11紧凑型质量流量/压力计适用于在真空和17bar(a)之间的工作压力下测量0…500 mln/min和0…20 ln/mi...

产品介绍

FLEXI-FLOW紧凑型FF-M10和FF-M11紧凑型质量流量/压力计适用于在真空和17 bar(a)之间的工作压力下测量0…500 mln/min和0…20 ln/min之间的流量范围。该仪器结合了基于毛细管MEMS技术的快速稳定的热质量流量传感器和准确可靠的旁路结构。由于独特的TCS技术(通过芯片传感器),建立了与温度和管路压力变化无关的准确质量流量测量。结合集成的温度和上下游压力传感器,22种气体的嵌入式数据库可实现准确的车载转换。多参数仪表为用户提供有用的过程信息:

-型号FF-M10:流量+温度

-型号FF-M11:流量+温度+上下游压力

性能特点

  • 紧凑型气体质量流量和压力表
  • 集成气体转换模块
  • 22种气体嵌入
  • 多参数输出:质量流量、温度和压力
  • USB-C和蓝牙通信
  • Namur NE107状态指示

技术参数

产地:荷兰

流量范围(可用的中间范围):min.0…500 mln/min

Max.0…20 ln/min(基于N2)

压力范围:FF-M10:不可用/FF-M11:0…17 bar(a)

精度(包括线性度)(基于实际校准):高达±0,5%Rd plus±0,1%FS(N2/空气/O2);

对于其他气体,增加转换不确定性;

重复性

流量传感器:<±0,2%Rd;

压力传感器:<±0,2%FS

减速比:高达1:1000

工作压力:max.16 bar g

22种独特气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据

响应时间(传感器):<30 ms(T63)

3年内长期稳定性:<0,5%FS;每年<0,2%FS

安装:任何位置,姿态灵敏度可忽略不计

温度传感器灵敏度:zero 00015%FS/ºC;span 0,03%Rd/ºC;

压力传感器灵敏度:zero 0,16 mbar/ºC;span 0,05%Rd/ºC

温度精度:±0,2ºC(仪器本体温度)

压力传感器精度:±0,5%FS

压力敏感度(标准):<0,15%Rd/bar,典型N2;

压力校正:<0.02%Rd,典型N2

泄漏完整性,外侧测试:<2 x 10-9 mbar l/s He

机械部分

仪表本体:铝或不锈钢(可选)

材料(接液部件):铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃

表面质量:<1.6μRa(不锈钢阀体<0.8μRa)

压力等级(PN):16 bar(g)/250 psig

工艺连接可选:压缩式、推入式或端面密封联轴器

密封件默认值:FKM 51415;

其他材料:请联系工厂

重量:200 g,铝阀体,300 g,不锈钢316阀体

防护等级:IP40

电气特性

电源:24 Vdc±10%

功耗:max.0,35 W

数字通信:Modbus RTU或FLOW-BUS(可选)

支持USB-C接口,便于设置;

用于监控的可选蓝牙连接

电气连接:9针D-sub(公头)


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