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FLEXI-FLOW紧凑型FF-M10和FF-M11紧凑型质量流量/压力计适用于在真空和17 bar(a)之间的工作压力下测量0…500 mln/min和0…20 ln/min之间的流量范围。该仪器结合了基于毛细管MEMS技术的快速稳定的热质量流量传感器和准确可靠的旁路结构。由于独特的TCS技术(通过芯片传感器),建立了与温度和管路压力变化无关的准确质量流量测量。结合集成的温度和上下游压力传感器,22种气体的嵌入式数据库可实现准确的车载转换。多参数仪表为用户提供有用的过程信息:
-型号FF-M10:流量+温度
-型号FF-M11:流量+温度+上下游压力
产地:荷兰
流量范围(可用的中间范围):min.0…500 mln/min
Max.0…20 ln/min(基于N2)
压力范围:FF-M10:不可用/FF-M11:0…17 bar(a)
精度(包括线性度)(基于实际校准):高达±0,5%Rd plus±0,1%FS(N2/空气/O2);
对于其他气体,增加转换不确定性;
重复性
流量传感器:<±0,2%Rd;
压力传感器:<±0,2%FS
减速比:高达1:1000
工作压力:max.16 bar g
22种独特气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据
响应时间(传感器):<30 ms(T63)
3年内长期稳定性:<0,5%FS;每年<0,2%FS
安装:任何位置,姿态灵敏度可忽略不计
温度传感器灵敏度:zero 00015%FS/ºC;span 0,03%Rd/ºC;
压力传感器灵敏度:zero 0,16 mbar/ºC;span 0,05%Rd/ºC
温度精度:±0,2ºC(仪器本体温度)
压力传感器精度:±0,5%FS
压力敏感度(标准):<0,15%Rd/bar,典型N2;
压力校正:<0.02%Rd,典型N2
泄漏完整性,外侧测试:<2 x 10-9 mbar l/s He
机械部分
仪表本体:铝或不锈钢(可选)
材料(接液部件):铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃
表面质量:<1.6μRa(不锈钢阀体<0.8μRa)
压力等级(PN):16 bar(g)/250 psig
工艺连接可选:压缩式、推入式或端面密封联轴器
密封件默认值:FKM 51415;
其他材料:请联系工厂
重量:200 g,铝阀体,300 g,不锈钢316阀体
防护等级:IP40
电气特性
电源:24 Vdc±10%
功耗:max.0,35 W
数字通信:Modbus RTU或FLOW-BUS(可选)
支持USB-C接口,便于设置;
用于监控的可选蓝牙连接
电气连接:9针D-sub(公头)
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