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MSG聚焦与跟踪系统LAF5-CH

结合了工业显微镜和AOI系统的线激光和基于图像的自动聚焦和跟踪。MSG图像自动聚焦作为一个跟踪聚焦,而不像典型的对比度图像聚焦。通过根据表面自动选择聚焦方法,获得更加稳健的聚焦结果。控制接口步进/伺服...

产品介绍

结合了工业显微镜和AOI系统的线激光和基于图像的自动聚焦和跟踪。MSG图像自动聚焦作为一个跟踪聚焦,而不像典型的对比度图像聚焦。通过根据表面自动选择聚焦方法,获得更加稳健的聚焦结果。

控制接口步进/伺服电机。适用于放大2倍至100倍的校正透镜,VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和软件库。

性能特点

我们的技术能够自动聚焦于:

  • 具有高对比度变化的图案表面
  • 具有高倍率透镜的更小结构
  • 折射率变化的材料,如夹层/分层基材

3种不同的操作模式。

  • 具有高速和高工作范围的激光自动聚焦模式
  • 图像自动对焦模式可提高精度

混合自动聚焦模式,可智能选择激光或图像聚焦,以优化速度和精度,几乎消除激光坏点问题,同时仍能准确跟踪

 

该系统具有完整的Z轴闭环系统,带有传感器和电机控制。它带有一个软件界面,便于设置、使用和诊断所有必要的传感器和电机参数。易于集成到现有软件架构中。

技术参数

 

参考APO计划无限显微镜物镜(示例)

放大倍数

5x

10x

20x

50x

100x

DOF

14µm

3.5µm

1.6µm

0.9µm

0.6µm

采样率激光器

max.5kHz

采样率视频

250帧/秒,MAX,连续

工作范围激光

±12000µm

±4000µm

±1500µm

±500µm

±150µm

工作范围视频

±5000µm

±1000µm

±400µm

±100µm

±20µm

精度*

激光模式:0.5镜头自由度,视频0.25镜头自由度

激光

二极管激光器660nm,IIIR类<2mW,前置透镜

工作温度

+5°C至+50°C

光束形状

45°倾斜激光线

传感器+电缆重量

 

 

400g

 

 

接口重量

 

 

400g

 

 

推荐BS

 

 

50/50

 

 

激光AF周期时间

 

 

0.1s

 

自动跟踪

图像AF周期时间

 

 

0.4s

 

自动跟踪

混合AF循环时间

 

0.2s

 

自动跟踪

电源

In

仅+12V DC传感器,24-48V,带控制器LAF-C

可选距离输出

模拟

0-10V和-10+10V,通过RS232

信号质量输出

模拟

0-10V,通过RS232

通信

数字

RS232

 

 

 

激光器开/关

In

TTL

&通过RS232

 

照相机同步

In

TTL

 

 

 

*所有数据均指激光用普通玻璃的测量值和视频用标准图案

 

 


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