带灯加热的直接液体喷射汽化器使 MC-050成为一种独特的机器,具有像集群工具一样的多工艺能力,但在一个单一的工艺室内。
Annealsys MC-050系统是为满足研发单位的要求而开发的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反应器。
红外灯炉与直接液体注入蒸发器相结合,在同一工艺室内提供独特的多工艺能力:CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。
直接液体注入 (DLI) 蒸发器可控制前体流量,并允许使用低蒸气压和稀释的化学前体。与旁通阀相关的前体蒸汽流的快速切换为纳米层压板的沉积提供了界面控制。
MC-050是使用广泛的固体和液体有机金属前体开发新材料和纳米层压材料的机器。
MC-050 可以使用广泛的有机金属前体进行化学气相沉积和原子层沉积工艺,同时提供原位退火功能。
MC-050可配备6个直接液体注入蒸发器和两个用于高蒸气压前体的起泡器。
MC-050提供了广泛的新材料开发能力,包括单金属氧化物和多金属氧化物以及过渡金属●二硫化物 (TMD) 和其他二维材料。
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