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产品介绍
Kit L系列直线光栅尺特别设计用于个性化的应用。该系列产品不仅拥有极小的尺寸，更提供配置能力。该系列产品几乎不限制设计师的设计自由。
性能特点
- 特殊真空版的Kit L2带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
- 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
- 光栅尺部件满足真空度达10 E-6 mbar（UHV）的气压要求
- 1 Vpp或RS 422输出信号
- 多达100倍的细分信号
- 最小测量步距仅50 nm
- 运动速度达10 m/s（1 Vpp）
津公网安备12010102000946号
