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Semicansoft薄膜测量系统MProbe 20

MProbe 20是一种用于全球数千个应用的薄膜厚度测量台式系统。它只需单击鼠标即可测量薄膜厚度和折射率。可以快速可靠地测量1nm至1mm的厚度,包括多层膜堆叠。不同的MProbe 20模型主要通过光...

产品介绍

MProbe 20是一种用于全球数千个应用的薄膜厚度测量台式系统。它只需单击鼠标即可测量薄膜厚度和折射率。可以快速可靠地测量1nm至1mm的厚度,包括多层膜堆叠。不同的MProbe 20模型主要通过光谱仪的波长范围和分辨率来区分,这反过来决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。该测量技术基于光谱反射——快速、可靠且无损。

性能特点

  • 灵活:模块化薄膜厚度测量系统:为您的应用选择更好配置,并在需要时轻松升级
  • 精度:<0.01nm或0.01%
  • 材料:500+扩展材料数据库
  • 软件:用户友好且功能丰富的TFCompanion软件甚至可以处理复杂的应用程序。层数无限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗度等。
  • 集成:轻松集成TCP服务器
  • 实时、一键测量和分析
  • 测量历史:调用/显示测量结果和统计数据

技术参数

产地:美国

精度:<0.01nm或0.01%(在200nm氧化物上进行100次测量的s.d.)

<1nm或0.2%(依赖于胶片堆栈)

稳定性:<0.02nm或0.2%(20天,每天测量)

测量厚度:1nm至1mm

光斑尺寸:<1mm

样品尺寸:>=10mm

主机:包括光谱仪、光源、光控制器微处理器

样品台:SH200A

探头:光纤反射

测试样品:200nm氧化硅或PET薄膜

电缆:USB或LAN

电源适配器:24VDC

电压:110/220V

 


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