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BILZ电子气动位置控制EPPC

用于高度动态和振动敏感的机器和仪器的实时液位控制。EPPC实时液位控制可实现+/-10µm的生产精度,并显著减少偏转和沉降时间,以响应动态负载变化基于智能浏览器的用户界面,用于设置、诊断和...
  • 品牌:BILZ
  • 型号:EPPC
  • 阅读次数:484

产品介绍

用于高度动态和振动敏感的机器和仪器的实时液位控制。

EPPC实时液位控制可实现+/-10µm的生产精度,并显著减少偏转和沉降时间,以响应动态负载变化基于智能浏览器的用户界面,用于设置、诊断和监控。

电子气动位置控制EPPC为高精度机器、高度动态和振动敏感的测量机器、显微镜以及测试和生产机器提供好的振动隔离。

EPPC可以与三到六个BiAir薄膜空气弹簧控制组组合,以控制多达六个自由度。Bilz为系统设计提供各种不同尺寸的空气弹簧。

电子气动液位控制系统与BiAir薄膜空气弹簧相结合,可实现位置精度,并减少动态负载变化时的偏转和沉降时间。

性能特点

  • 位置精度(+/-10µm)
  • 可单独调节的系统参数(如阻尼)
  • 响应荷载变化的短挠度和沉降时间
  • 每个自由度一个高性能伺服阀和一个位移传感器
  • 采用CAN总线技术的优化连接系统
  • 基于浏览器的智能用户界面,用于设置、诊断和监控,通过以太网连接,可进行远程维护
  • 操作员状态显示(例如准备就绪、工作位置、动作完成、错误)
  • 用于外部控制和监控的数字I/O接口
  • 高分辨率信号处理和伺服阀技术带来的无噪声控制
  • 坚固可靠的空气弹簧技术,可与Bilz BiAir®薄膜空气弹簧结合使用
  • 无干扰发热、磁场波动或电磁执行器的高功耗

产品结构与细节

技术参数

  • 典型系统负载:800 kg–120.000 kg
  • 垂直固有频率:1,2–2,5 Hz
  • 水平固有频率:2,2–2,8 Hz
  • 控制类型:伺服气动
  • 适合洁净室:是
  • 通信接口:以太网、数字I/O
  • 产地:德国

-传感器分辨率:

  • 位移测量系统:0.76µm
  • 压力传感器:0.36毫巴
  • 采样率传感器信号:1 kHz(过采样后)

产品应用

  • 高精度机器
  • 振动敏感和高度动态的测量机
  • 显微镜
  • 半导体行业的测试和生产机器

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