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MProbe Vis-Thin 薄膜测量系统是一款结构紧凑、功能多样的台式系统。它可以测量不同基底上 10nm - 150µm 厚度范围内的半透明薄膜。而且,它经济实惠,使用方便。MProbe Vis(X) 的生产版本可承受振动,并可通过局域网连接24小时运行。它可用于在线和 OEM 应用。它与无尘室环境兼容。MProbe20 VisX 系统是 MProbe20 Vis 系统的一个版本,在更长波长(> 700 nm)下的灵敏度有所提高。
灵活性高
500 多种扩展材料数据库
可以处理复杂的应用,没有层数限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗淡度等。
集成:轻松集成 TCP 服务器
经济实惠,性价比高
MProbe20 |
波长范围 |
厚度测量范围 |
VIS |
400m-1000nm |
10nm–150μm |
UVVIS |
200m-1100nm |
1nm-75μm |
VIS-HR |
700m-1100nm |
1um-400um |
NIR |
900m-1700nm |
50nm–150μm |
VisNIR |
380m-1700nm |
50nm-250μm |
UVVisF |
200m-1000nm |
1nm-20μm |
UVVISNIR |
200m-1700nm |
1nm-75μm |
NIRHR |
1500m-1550nm |
10μm-1800μm (glass) 4μm-400μm (Si) |
主机(包括光谱仪、光源)
SH200A 样品台,带聚焦镜头和微调装置
光纤反射探头
TFCompanion -RA 软件、USB许可证密钥、包含软件发布、用户指南和其他材料的 USB 记忆棒
USB / LAN 电缆
24VDC 电源适配器(110/220V)
产地:美国
厚度范围: 10 nm - 150 μm
波长范围: 400nm -1000nm(典型校准范围:380-1050nm),VisX 为 450nm -1050nm
波长分辨率: < 小于 1 nm,狭缝为 20 微米(整个光谱均匀一致)
连接: USB / 1 GbE LAN
数据采集速率:1.5kHz(Max)
测量时间:10秒(Min)
精度:<0.01nm 或 0.02%(在 200nm 氧化物上进行 100 次测量的 s.d.)。
准确度:<1nm 或 0.2%(取决于薄膜叠层)
稳定性:< 0.02nm 或 0.2%(每天测量 20 天)
光斑尺寸:< 1 mm
样品尺寸:>= 10 mm
光源:5W TH 灯,10000 小时寿命(可选:20W TH 灯,2000 小时寿命)
可快速可靠地测量大多数半透明或轻吸收薄膜: 氧化物、氮化物、光刻胶、聚合物、半导体(硅、砷化镓、aSi、聚硅等)、硬涂层(SiC、DLC、AlN)、聚合物涂层(Paralene、PMMA、聚酰胺)、ITO、电池间隙、氧化铝、薄金属膜(<50 纳米)等。
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