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ICHOR隔膜阀CDV

常规隔膜阀(CDV)系列包括超高纯版本,根据相关SEMI规范制造,具有更高的可靠性。
  • 品牌:ICHOR
  • 型号:CDV
  • 阅读次数:455

产品介绍

常规隔膜阀(CDV)系列包括超高纯版本,根据相关SEMI规范制造,具有更高的可靠性。

性能特点

  • 阀座设计和双层隔膜可延长循环寿命并减少颗粒产生。
  • 完全清扫润湿路径,以减少截留,促进吹扫,更大限度地提高Cv,同时更小化内部体积。
  • 气动执行器可在执行时快速响应。
  • 手动和混合执行器指示可视的四分之一圈打开和关闭位置。
  • 可根据要求提供自定义配置。

选型指南

产品结构与细节

 

1、 阀体316L SST SEMI F20

2、 阀座PCTFE

3、 隔膜Elgiloy

4、 按钮316L不锈钢

5、 阀盖303 SST

6、 螺母303 SST

7、 执行机构阳极氧化铝

技术参数

产地:美国

气动工作压力:真空至150 PSIG

¼手动工作压力:真空至250 PSIG

混合工作压力:真空至150 PSIG

防爆压力:1.5 x工作压力

爆裂压力:4500 PSIG

表面粗糙度

标准:≤16 Ra µ inch

高纯度:6-10 Ra µ inch

超高纯度:≤5 Ra µ inch

流量系数:Cv=0.3

气动执行机构驱动压力:65-125 PSIG

卡套管集成接头:1/8“-27 NPT 1/8”,M5气动或1/8“

手动和混合执行器:¼转手动

内侧泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

外侧泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

通过阀座的泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

温度,阀座材料:

-40°F至150°F(-40°C至66°C),PCTFE

-40°F至300°F(40°C至150°C)、PEEK

-15°F至300°F(-10°C至150°C),PFA,VESPEL


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