常规隔膜阀(CDV)系列包括超高纯版本,根据相关SEMI规范制造,具有更高的可靠性。
1、 阀体316L SST SEMI F20
2、 阀座PCTFE
3、 隔膜Elgiloy
4、 按钮316L不锈钢
5、 阀盖303 SST
6、 螺母303 SST
7、 执行机构阳极氧化铝
产地:美国
气动工作压力:真空至150 PSIG
¼手动工作压力:真空至250 PSIG
混合工作压力:真空至150 PSIG
防爆压力:1.5 x工作压力
爆裂压力:4500 PSIG
表面粗糙度
标准:≤16 Ra µ inch
高纯度:6-10 Ra µ inch
超高纯度:≤5 Ra µ inch
流量系数:Cv=0.3
气动执行机构驱动压力:65-125 PSIG
卡套管集成接头:1/8“-27 NPT 1/8”,M5气动或1/8“
手动和混合执行器:¼转手动
内侧泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec
外侧泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec
通过阀座的泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec
温度,阀座材料:
-40°F至150°F(-40°C至66°C),PCTFE
-40°F至300°F(40°C至150°C)、PEEK
-15°F至300°F(-10°C至150°C),PFA,VESPEL
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