ENTEGRIS气体过滤器WGMXMBPRF2

Wafergard MAX 在线气体过滤器是业内用于超纯气体系统的过滤器。聚四氟乙烯（PTFE）滤芯与高纯气体以及普通氮气和 CDA 应用兼容。我们的 MAX 系列过滤器有青铜级和白银级两种性能级别，专为大流量和低 delta 压力应用而设计，可去除可能影响工艺质量的杂质，为工艺提供良好的保护。Wafergard MAX 过滤器适用于设施连接、阀组箱和使用点气体面板应用。

低压降过滤器设计，节省时间和成本

从输入气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，Max限度地减少工艺缺陷

聚四氟乙烯（PTFE）滤芯，与氮气和 CDA 等高纯度气体具有良好的兼容性

体积小，结构紧凑，节省宝贵的设备空间，更易于实施

预处理（仅银），可快速启动

WGMXMBPRF2：1/4 英寸外螺纹 VCR 兼容入口，1/4 英寸内螺纹 VCR 兼容出口；141.2 毫米（5.6 英寸）

WGMXMBRR2：1/4 英寸外螺纹 VCR 兼容型；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMBRR4：兼容 VCR 1/2 "外螺纹；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMBSS2：兼容 1/4" Swagelok ；112.7 mm (4.44")

WGMXMBSS3：兼容 3/8" Swagelok ；117.9 mm (4.64)

WGMXMBSS4：1/2" Swagelok兼容；118.7 mm (4.67")

WGMXMPRR2：兼容 1/4 "外螺纹 VCR；127 mm（5.00"）

WGMXMPRR4：兼容 1/2 英寸外螺纹 VCR；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMPSS2：兼容 1/4" Swagelok；112.7 mm (4.44")

WGMXMPSS3：兼容 3/8" Swagelok；117.9 mm（4.64）

WGMXMPSS4：兼容Swagelok；118.7 mm (4.67")

WGMXMSBW2：1/4" 对焊管；133.4 mm (5.25")

WGMXMSBW3：3/8 英寸对焊管；133.4 毫米（5.25 英寸）

WGMXMSBW4：1/2 英寸对焊管；133.4 毫米（5.257 英寸）

WGMXMSRR2：1/4" 外螺纹 VCR 兼容型；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4：兼容 1/2 "外螺纹 VCR；127 毫米（5.00 英寸）

产地：美国

滤芯材质：由模制 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜

外壳材质：电抛光低硫 316L 不锈钢外壳

下游清洁度

颗粒：小于 0.03 颗粒/L（<1 颗粒/ft³），大于 0.01 µm

挥发物（银）：< 10 ppb H₂O 和 O₂。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）

去除率：≥ 0.0015 µm

内部表面处理青铜：≤ 20 µin Ra

氦气泄漏等级

合格：2 x 10^-10 atm-cc/sec

测试：1 x 10^-9 atm-cc/sec

Max入口压力： 1⁄4 " 和 1⁄2 " VCR

银质和铜质 Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)

青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig）

青铜和青铜 Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok兼容接头： 6.0 MPa（60 bar，870 psig）

Max正向压差：7 bar (102 psid)

Max反向压差：2.5 bar (36 psid)

Max工作温度：120 °C (248 °F)

保修期：铜质 1 年；银质 3 年

微粒去除率： 所有微粒去除率大于 99.9999999 %（9 LRV）（以穿透力_Max的微粒尺寸为准）

与所有类别的半导体工艺气体兼容、与一般氮气和 CDA 应用兼容