ENTEGRIS分配系统MaxMT

MaxMT 化学物质分配系统是很大限度提高化学物质利用率的创新解决方案，是 Entegris 下一代 ND-CD 连接器产品的代表。该分配系统由一个控制盒和两个连接器组成，具有 A-B 切换、顶空气体清除和空检测功能。使用一个控制箱和两个连接器能大限度地提高化学品利用率。

控制箱，提供一个用户界面，其中包含有效操作系统和控制分配过程的逻辑

带空检测技术的两个连接器，便于从罐中分配化学品，包括在分配化学品前清除顶空气体和检测空状态的技术

自动 A-B 切换，有助于降低运行成本

化学品分配系统设计，可很大限度地利用化学品，减少气泡缺陷

控制箱：提供用户界面，其中包含有效操作系统和控制分配过程的逻辑

连接器：两个，带空检测技术

EDA-B：MaxMT 连接器支架

EDA-D：用于 MaxMT 系统连接器的气体清洁夹具

EDA-E：用于 MaxMT 系统连接器的溶剂清洁夹具

EDA-G：进出延长电缆套件

ND-ED-CB-2：MaxMT 控制箱

ND-ED-CN-2：MaxMT 分配连接器

ND-ED-S-2：MaxMT 化学物质分配系统

PA-06：探头O型环，Kalrez，2个

PA-08：保持器 O 形圈，三元乙丙橡胶，10 个

产地：美国

电源：24 V直流，Min 1 A服务

压力：551.6 kPa（80 psig），要求高纯度硝化甘油（5.0 级或以上）

电源：24 VDC，3 线母电源电缆，带用于客户接口的松散引线

用于工具接口的空检测信号：3 线制 6 触点公连接器

氮气供应：直径为 8 mm的管接头（不包括氮气供应管）

结构材料：非浸湿

外壳：不锈钢

窗口：聚四氟乙烯涂层聚碳酸酯

启动和停止按钮、开/关开关、紧急停止 (EMO) 按钮：聚酯

标签：铝

空气接头：不锈钢

空检测信号电缆：聚丙烯

电源线：聚丙烯

排气消声器：聚乙烯、聚缩醛

控制盒与连接器之间的管路/电线距离：1.8 m（6 英尺）

重量：10.6 kg（23.3 磅）

螺纹类型：2-1/4 ACME 双启动

Max工作压力：103.4 kPa（15 psig）（美国境内）；206.8 kPa（30 psig）（美国境外）

连接器泄压阀：241.3 kPa（35 psig）标称开启压力

流体温度：25 °C (77 °F)

光阻/色阻、用于微电子应用的低粘度材料、其他液体材料涂层市场、该系统与生产工具集成，设计用于 10 至 40 升 NOWPak 内衬罐系统和盖子