ENTEGRIS吊舱9700-4151-01

A200 SMIF pod 可在运输和存储过程中保护 200 mm 晶圆，从而为半导体制造商提供污染控制。优良的结构设计和除气性能提供了一种环保平稳的晶圆容器，可为晶圆保持良好的微型环境，并具有固有的自动化兼容性。

结构材料可实现低颗粒生成、低放气和长使用寿命

兼容清洗

坚固耐用的聚碳酸酯外壳可经受反复和自动处理

聚碳酸酯静电消散盒门大大降低了 ESD 损坏的可能性

盒体固定装置与自动清洗系统兼容，降低了拥有成本

外壳颜色：琥珀色、绿色、透明

标识：条形码和字母数字字符标签；彩色手柄；激光打标条形码和字母数字字符；卡套和旅行标签

手柄：顶部自动化手柄；携带手柄

产地：美国

DOME 颜色：透明

灯罩：四代

手柄颜色和类型：黑色，Ergo 手柄

晶圆固定器类型：Gen IV 晶圆锁组件 - 被动式

圆顶接口：无

门类型：A200

磁带接口：宽导轨

磁带固定器：透明 PC (CS02)

门垫片：PBT 标准

底座尺寸：283 x 292 mm（11.125 x 11.5 英寸）

吊舱高度（不含顶部把手）：254 mm（10.0 英寸）

重量（空吊舱）：2.59 kg（5.7 磅）

重量（吊舱外壳）：1.62 kg（3.6 磅）

重量（吊舱门）：0.87 kg（1.9 磅）

外壳材料：聚碳酸酯

门材料：碳填充聚碳酸酯

晶片锁和框架材料：聚碳酸酯

卡匣固定装置材料：填充聚四氟乙烯

卡匣导轨材料：聚碳酸酯

符合标准：SEMI 19.4

在 200 mm晶圆运输和储存过程中为半导体制造商提供污染控制：未污染的晶圆运输、环保的晶圆储存