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ENTEGRIS流量控制器6500

无论是自动化、过程控制还是保障问题,都需要对液体化学品和 CMP 泥浆进行准确的流量控制,因此仪表须清洁、准确和可靠。Entegris 采用新型的电子技术和高纯度材料,设计出的液体流量控制器,可更好地...

产品介绍

无论是自动化、过程控制还是保障问题,都需要对液体化学品和 CMP 泥浆进行准确的流量控制,因此仪表须清洁、准确和可靠。Entegris 采用新型的电子技术和高纯度材料,设计出的液体流量控制器,可更好地控制工艺流量变量。NT集成流量控制器 (IFC) 6500 型专为高纯液体化学仪器和浆料应用而开发。该仪器的阀座和隔膜设计用于大限度地减少死体积和流体剪切力,从而降低工艺污染的可能性。IFC 6500 型的润湿部件采用含氟聚合物,非润湿部件采用惰性材料,可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。NT IFC 6500 型采用双聚四氟乙烯阀门隔膜,用于流体密封和污染保护。采用的电动阀和流量计技术,封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。该装置由设定点信号(即 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC)激活,以将流体流量保持在所需的设定点。

性能特点

用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面

非金属组件具有耐腐蚀性

内置压力传感器提供额外的过程信息

在关键分配应用中可获得百分之一 (1%) 的满量程精度

占地面积小,便于在空间有限的地方进行现场安装

快速响应,实现准确的分配率

选型指南

技术参数

产地:美国

润湿部件阀体材质:PTFE

润湿部件膜片材质:PTFE

传感器接口材质:PFA 或 CTFE

主 O 形圈材质:Perfrez

非润湿部件:聚丙烯、FEP、PVDF 和氟橡胶(除上述材料外)

工艺温度:10 至 65 ℃(50 至 149 °F)

电气输入:24VDC(± 10 %)@ 1 A

电气输出:两个 4-20 mA 电气隔离输出,一个用于流量,一个用于压力

流量测量:

在 20-满流量范围内为满量程的 ± 1 %

流量范围的 10-20% 时为满量程的 ± 2.5 %

(使用去离子水在 23 °C [73 °F] 下进行校准)

重复性:流量范围 20-满 时,满量程的 ± 0.5 %;流量范围 10-20 % 时,满量程的 1 %。

压力测量范围:0 至 414 kPa (0- 60 psig)

Min工作压力(入口处):69 kPa (10 psig)

Max工作压力:414 kPa (60 psig)

过压限制:690 kPa (100 psig)

压力测量精度:满刻度的 1 %(包括线性、滞后和重复性的综合影响)

电气外壳:IP54

可靠性:浸湿部件,>300 万次循环

响应时间:< 3 秒(10 % 至 95 % 满量程流量范围)

设定点输入信号:4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

符合认证:CE

产品尺寸

产品应用

用于关键分配应用的持续流量控制、CMP 泥浆分配,取代现有蠕动泵、用于化学品添加和混合的批量控制、按需化学混合应用

 


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