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ENTEGRIS存储箱E99-113N-69F02

Entegris 在满足当今 200 mm 晶圆厂的自动化、污染控制和生产率要求方面处于一定的地位。我们的 200 mm 晶圆存储盒提供良好的保护,并提供自动和手动处理功能。周到的污染控制设计可很大限...

产品介绍

Entegris 在满足当今 200 mm 晶圆厂的自动化、污染控制和生产率要求方面处于一定的地位。我们的 200 mm 晶圆存储盒提供良好的保护,并提供自动和手动处理功能。周到的污染控制设计可很大限度地减少微粒的产生。我们的产品组合包括 HA200 系列、E99 系列和 E210 系列晶圆盒,并提供多种选件以满足您的特定应用需求。

性能特点

设计用于很大限度地减少晶圆颤动和载体移动所产生的微粒,并增加 ESD 保护功能

与自动化兼容

晶片倾斜可很大限度地减少晶片震颤

单载体容量,可轻松堆叠

平底

可容纳选定的 25 个容量的晶片载体,不包括宽法兰载体

STAT-PRO 175 材料,可选聚碳酸酯盖板

迁移路径与 STAT-PRO 100 材料兼容

选型指南

HA200 系列存储盒:性能高的 200 毫米存储盒,可提供自动和手动处理功能。其设计特点可很大限度地减少晶圆颤动和载体移动所产生的微粒。

E99 系列存储盒:行业标准,可为空间有限的堆垛机和在制品机架提供很大的堆垛密度。

E210 系列存储盒:可与宽法兰载体实现自动化兼容,并方便人工搬运。它们的特点是很大限度地减少晶圆颤动和载体移动产生的微粒。

可选功能与配件

彩色箱盖:提供蓝色、绿色和灰色 STAT-PRO 175 和 EMSTAT AR 材料箱盖;提供红色、蓝色、绿色和紫外线过滤琥珀色聚碳酸酯箱盖。

识别选项:激光标记;卡座: E005-1-XXXX;烫印;彩色 ID 标签;条形码标签

灵活的Traveler信封:可容纳 127 × 216 mm (5.0 × 8.5") 厚度不超过 3.2 mm (0.13") 的Traveler;与选定的 200 mm 存储盒兼容;PVC 材料;部件编号: E96-1-1613(适用于 E99) TR33-0100-P(适用于 HA200)

技术参数

产地:美国

兼容运输工具:192/198 系列、20X 系列和部分 200 系列运输工具

与Travelers兼容:否

盖子材料:STAT-PRO 175

底部材料:STAT-PRO 175

锁扣材料:PBT

锁销样式:摆动销

底部材料颜色:黑色

盖子材料颜色:黑色

铰链:标准

外形尺寸:285 × 272 × 241 毫米(11.2 × 10.7 × 9.5 英寸)

产品应用

厂内运输、工艺工具接口、工厂晶圆存储


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