ENTEGRIS液体浓度监测仪GV148

集成式紧凑包装中的实时过程监控。InVue GV148 液体浓度监测仪可为化学品混合、添加和稀释提供实时过程流体浓度测量，而不会造成过程干扰或中断。GV148 液体浓度监测器集成在一个紧凑的高纯度封装中，可提供经济有效的高性能浓度监测，从而提高前端在线 (FEOL)、后端在线 (BEOL) 和实验室化学品输送系统的工艺效率。工艺可视性的提高可实现更严格的工艺控制、更高的晶片产量、更少的化学品用量和更低的废品率。GV148 监测器采用成熟的折射率技术，结构紧凑，可提供准确、保障和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可准确测量工艺液体的折射率 (IoR) 和温度。然后利用这些信息计算工艺流体的浓度。InVue GV148 浓度监测器采用折射率技术，当光线从窗口/液体界面反射到光电二极管阵列 (PDA) 时，监测器便开始工作。反射角度由液体和窗口之间的折射率决定。定制设计的 Entegris 算法可测量反射光强度的微小变化。这种反射几何形状和微型化使其具有其他技术无法比拟的浓度监测性能。

利用折射率测量 CMP 泥浆和 H₂O₂ 等非导电流体

内置电子元件，占地面积小，很大限度地减小了工具尺寸

人机界面软件可进行实时数据记录、分析和定制

窗口清洁端口便于清洁蓝宝石窗口

GV1CBLH04：19 针 Turck 连接器，带 4.0 米（13.12 英尺）PVC 护套电缆

GV1USBCVT：USB 至 4 线串行转换器

产地：美国

流动池主体材质：聚四氟乙烯 (PTFE)

光学窗口材质：单晶蓝宝石

电缆护套材质：聚氯乙烯（PVC）

电缆护套材质：聚氯乙烯 (PVC)

外壳材质：聚偏氟乙烯 (PVDF)

安装板材质：聚丙烯 (PP)

电缆连接：19 针 Turck 公头

额定电流：启动时 1.0 A；运行时 0.5 A

主电压输入：24 VDC

IO 电压输入：12 - 24 VDC

短路保护：是

外部 LED：4

模拟输出：4 - 20 mA 浓度、液体温度、折射率 (RI)

离散数字输入：2

离散数字输出：2，Max 80 mAdc（每个）

复零：数字输入、串行命令或人机界面软件

串行通信RS485：2 线制或 4 线制

串行通信RS422：4 线制

操作系统兼容性：Windows 7 或 10

网络兼容：是

Max压力：40 ℃ (104 °F) 时 80 psig

工艺流体温度范围：20 至 40 ℃ (68 至 104 °F)

环境温度范围：20 至 35 ℃ (68 至 95 °F)

存储温度范围：-15 至 40 ℃ (5 至 104 °F)

RI 测量范围：1.32 - 1.40 nD

精度：± 2 × 10^-4 nD（20 ℃ [68 °F] 时为 1.332987 至 1.4000 nD）

重复性：5 × 10^-5 nD（在 20 ℃ [68 °F] 透明液体中）

精度：3 × 10^-6 nD（在 20 ℃ [68 °F] 的去离子水中）

响应时间：<3 秒到 63 % 稳定状态变化的平均响应时间

漂移：<5 × 10^-5 nD/30 天（20 ℃ [68 °F] 时）

压力灵敏度（典型值）：8 × 10^-7 nD/psig（在 20 ℃ [68 °F] 的去离子水中）

是否符合 ROHS 标准：是

外壳：IP54

方向：任意

泥浆中的 H₂O₂ 加标、泥浆稀释、专用添加剂混合、全局和局部回路监测、批量工具化学品混合、熔池寿命检测、CMP 后清洁化学品混合