ENTEGRIS吊舱9700-9753-03

经过验证的 150 mm 网罩保护装置，免受静电积聚和紫外线的影响。200 mm网罩 SMIF pod (RSP) 为掩膜车间和网罩用户提供了一个标准机械接口 (SMIF)，用于保障处理、存储和运输带或不带小球的 150 mm网罩。该吊舱基于 SEMI 临时标准，具有 200 mm SMIF 接口。RSP 可保护掩膜和网罩免受静电积聚，紫外线阻挡材料可保护光刻中使用的感光材料。门吹扫接口使用惰性气体，可很大限度地减少污染。此外，RSP 还具有信息垫，可减少错位的机会，保护用户避免在不正确的工艺设备上进行不恰当的放置。还提供可选的堆叠功能。

使用惰性气体的门吹扫接口可很大限度地减少污染

紫外线阻隔材料可保护光刻技术中使用的光敏材料

无金属结构可消除腐蚀

改进的密封传导性可保护光学视网膜免受外部环境的影响，降低污染风险

信息垫减少了错位的机会

RSP200-5500：RSP200 垫圈套件，20 件

RSP200-5003：E200 门，带 PBT 垫圈，10 件

产地：美国

容量：一个 150 mm视网膜

紫外线透过率（所有颜色）：~0 % @ ≤ 470 nm

静电放电性能：< 2 秒

重量：1.38 kg

可靠性：> 50K MCBF

可清洗性：无需拆卸

门平整度：0.5 mm

圆顶类型：琥珀色 ABS

条形码：是

RFID：否

门类型：A200

隔板：有

光罩生产、光罩处理和存储、光刻工艺