ENTEGRIS净化柜RSPX-DPC-048SS-31A

可进行单独吹扫，减少网罩内的微粒和湿气。光罩净化柜加入了我们完整的光罩处理和存储解决方案组合，有助于保持没有污染的环境。机柜设计支持所有 150 mm网纹栅 SMIF pod (RSP150)、200 mm网纹栅 SMIF pod (RSP200) 和EUV网纹栅 pod。

机柜可提供一种或两种清洗气体和多达 84 个清洗位置，从而可以对吊舱进行单独清洗，以减少吊舱内的颗粒和水分。每个机柜都包括一个 pod 监控系统，可实现可追溯性和足够的清洗时间。

符合人体工程学的设计使工厂人员能够有保障的装载

RFID 读/写功能实现了吊舱的可追溯性

集成的用户界面可提供有关吊舱位置和清洗时间的信息

可选择吹扫巢穴数量（可达 84 个），提供设计灵活性和多功能性

设计坚固，安装和维护简单

庞大的已安装客户群证明了产品的可靠性和性能

产地：美国

容量：24、36、48 或 84 个清洗套

清洗接口：RSP150 SMIF 或 RSP200/EUV 可选

RFID 识别：读/写功能

门：可根据需要提供

吹扫气体：1 或 2

接口：RSP150

冲洗废气：48

清洗气体：1

压力控制器：无

RSP150 SMIF 占地面积（长×宽×高）：1.56 x 0.66 x 1.97 米(5.12 x 2.17 x 6.46 英寸)

RSP200/EUV 占地面积（长×宽×高）：2.20 x 0.50 x 2.07 米（7.22 x 1.64 x 6.79 英寸）；

3.33 x 0.50 x 2.07 米（10.93 x 1.64 x 6.79 英寸）

Reticle pod 存储、视网膜荚净化