ENTEGRIS净化器PS2-GC50-R

去除氮气和甲烷杂质，实现氩气、氦气、氙气、氮气和氢气的使用点净化。GateKeeper 加热捕集器 (HGU) 是需要去除 CH₄ 或 N₂ 杂质的使用点净化的理想解决方案。可净化的气体包括 Ar、He、Xe、N₂ 和 H₂。

加热获取器技术可与杂质形成不可逆的结合，并将杂质去除到亚ppb级。与仅依靠表面吸附的环境净化技术不同，加热获取器技术利用了整个材料体积，因此杂质容量更大，净化器寿命更长

使用点 (POU) 气体净化可确保工艺性能的一致性和可重复性，将关键工艺区域与室内气体分配系统隔离，并防止气体纯度下降和交叉污染

能完整地去除稀有气体、氮气 (N₂) 和氢气 (H₂) 中的杂质

可靠性高、成本低、性能好

加热的获取器材料可与任何氧化物、碳化物和氮化物杂质形成不可逆的化学键

优化设计可提供亚ppb 级性能，优于气瓶或液体来源的气体

占地面积小，流速高达 150 slpm（9 Nm³/hr）。

PS2-GC50: 典型流速 0 - 0.2 slpm

PS3-MT3: 典型流速 0.2 - 3 slpm

PS4-MT3 和 PS4-MT15：典型流速 3 - 30 slpm

PS4-MT50: 典型流速 30 - 100/150 slpm

产地：美国

Max流速：0.2 slpm（氮气、氦气、氩气）

出口气体温度：< 50 °C (122 °F)

平均功耗：< 50 W

金属颗粒过滤器：20 μm

尺寸（高×宽）：23 × 10 cm（9 × 4 英寸）

重量：1.8 kg（4 磅）

标准配置：1/4 英寸 VCR 接头

可选功能：110 - 120 VAC 或 220 - 240 VAC

去除杂质：H₂O、O₂、CO、CO₂、CH₄、其他碳氢化合物、H₂、N₂

氮气出口纯度：<10 ppb；<50 ppb（CH₄）

稀有气体出口纯度：<10 ppb

适用于气相色谱仪 (GC) 和其他低流量分析应用的小型经济型净化器

气相沉积工艺：MOCVD、PVD、CVD、外延、光刻技术、计量学、研发实验室实验、发光二极管、拉晶、植入、蚀刻、扩散和氧化过程、退火、光纤、分析、太阳能和光伏