ENTEGRIS配液系统IntelliGen RULV

内置坚固耐用的 RDS-01 V2 控制模块可实现配液量准确度和重复性监测。IntelliGen RULV喷点系统基于新型两级喷点技术与Entegris创新的Connectology过滤器设计的成熟性能，将高纯度过滤与低粘度液体（1-100 cP或喷点压力不超过29 psi时的更高粘度）的可重复喷点集成在一起。该泵系统专门设计用于TEL Clean Track ACT  12/ACT 8轨道系统。

IntelliGen RULV喷点系统是作为光刻工艺的消毒喷点系统而开发的，它可以在晶片上喷点出更均匀的光化学涂层。它还有助于缩短启动时间，并提供智能点胶诊断功能。兼容的 Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）过滤器可轻松滑入 IntelliGen RULV 系统的隔室。流体以特定截留率的流速通过 Impact 过滤器，从而提高产量并延长正常运行时间。集成的双压力传感器可提供实时警报，并通过提供多种确认功能（包括分配确认、周期时间确认和 delta P 确认）来增强过滤器填料功能。这些确认功能有助于防止因涂层问题造成的代价高昂的晶片缺陷，以及在较低的就绪压力水平下因反向间隙问题引发的随机直流错误。

空气检测功能可准确定位空气进入出口管道的时间，这些空气来自泄漏或随着时间推移逐渐积累的微小气泡。RDS-01 控制器的性能和交互式诊断功能使 IntelliGen RULV 喷点系统成为低粘度光阻的正确选择，以确保喷点的可重复性、更长的过滤器寿命和回报。

大部分功能与 IntelliGen ULV 系统相同，新增了使用流量计检测分配液体量的准确性和可重复性的功能

专为东京电子 ACT 12/ACT 8 工具设计

可分配 1 - 100 cP 的低粘度液体，或分配压力不超过 29 psig 的高粘度液体

可靠分配低粘度流体（1-100 cP），不影响过滤性能

新的用户友好型 MMI 软件可简化配方编程并提供实时状态

实时可靠的确认工具有助于很大限度地减少代价高昂的晶片缺陷

优化的流体流动路径可提高化学品周转率并减少死体积

改进的分配功能可防止电机反冲，使分配更加一致

可选配流量计，具有监测流量特性和更灵敏地检测出口管中的气泡、泄漏或扭结的额外优势

可选的后清洁程序有助于更快地启动晶片运行

IGLNPVBPF1F1：分配系统：支柱型进气口/Flaretek 型出气口和排气口：IntelliGen RULV 用于 RDS01 加装 EX 净化器

IGLNPSP01：电缆部件： 用于 RULV 的 RS232C 主机电缆

IGLNPSP02：电缆部件： 用于RULV的RS232C 5CM主机电缆

IGLNPSP03：电缆零件： RS422主机电缆PLS GND，用于RULV

IGLNPSP04：电缆零件： 用于 RULV 的 RS422 DG 链电缆 PLS GND

IGLNPSP05：流量计电缆部件： 流量计 RS485 2M 电缆，用于 RULV

IGLNPSP06：流量计电缆部件： 用于 RULV 的流量计 RS485 5M 电缆

产地：美国

体积：0.01 -10.0 mL，增量为 0.001 mL

速度：0.01 - 3.0 mL/s，增量为 0.001 mL/s

重复性：≤ 0.02 mL 3 sigma

粘度范围：1-100 cP

Max分配设计压力：0.21 MPa（30 psi）

填充率、过滤率、排气率、吹扫率：0.1 - 3.0 mL/s，增量为 0.001 mL/s

排气频率：自动排气或 1 -10,000 次分配循环

机械润湿表面：改性聚四氟乙烯（PTFE）、聚四氟乙烯（PTFE）、Kalrez 材料

连接类型入口：插入式，Super Type Pillar；出口和通风口：Flaretek 型

过滤器：Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）

入口、出口和通风管：外径：6.35 mm（0.25 英寸）或 6.0 mm（0.24 英寸）；内径：3.97 mm（0.156 英寸）或 4.0 mm（0.16 英寸）

入口气体类型：调节 N₂ 或 CAD

Min工作气压：0.26 MPa（38 psi）

Max工作气压：0.28 MPa（40 psi）

气动泄漏压力：0.30 MPa（43 psi）

真空：-68 kPa（Min 20 英寸汞柱）

尺寸（高×宽×深）：303.5 × 118.0 × 156.8 mm（11.95 × 4.65 × 6.17 英寸）

重量约：4.5 kg（10 磅）

额定电流：Max 1.25 A

输入电压（系统）：24 VDC ± 10 %

串行通信：规格取决于使用的接口模块

并行通信：触发和确认

使用环境：室内使用

海拔：低于 2000 米（2187.22 码）

环境温度：5 至 40 °C (41 至 104 °F)

相对湿度：80 %（31 °C (88 °F) 以下）；50 %（40 °C (88 °F) 时线性递减）

至 40°C (104°F) 时相对湿度为 50

22 - 26 VDC 的主电源波动

过电压类别 II 的瞬态过电压

污染等级：2

超低粘度（1-100 cP）使用点光化学喷点