ENTEGRIS气体过滤器WG3NS7RR4

Wafergard III NF-750 镍过滤器是清洁、有效的全金属过滤器。镍滤膜具有高耐腐蚀性，与惰性气体和活性气体的兼容性高。创新的外壳设计消除了放气现象，缩短了干燥时间。Wafergard III NF-750 气体过滤器具有 Entegris 金属膜的强度和 PTFE 含氟聚合物过滤器的压降和紧凑尺寸。

清洁、有效的全金属过滤器

获得许可的镍滤膜

高耐腐蚀性

高温和动态压力应用的适配选择

通常用于流量高达 750 slpm 的场合

WG3NS7RR2：127 mm (5.00")；1⁄4" 密封垫片（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口

WG3NS7RR4：127 mm (5.00")；1⁄2" 密封垫片（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口

产地：美国

滤芯：烧结镍膜过滤器

外壳材质：电抛光 VAR 316L 不锈钢

颗粒下游清洁度：< 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/立方英尺）> 0.01 µm @ 300 slpm

挥发性物质下游清洁度：H₂O、O₂ 和 THC 的挥发性放气低于检测限（室温下通过 RGA 和 FID 检测）

去除率：≥ 0.0015 μm

内部表面光洁度：≤ 5 µin Ra

总流通面积：140.0 cm² 

氦气泄漏等级合格：2 x 10^-10 atm-cc/sec

氦气泄漏等级测试：1 x 10^-9 atm-cc/sec

Max入口压力：52 bar (750 psig) @ 100 °C (212 °F)

Max正向/反向压差：7 bar (100 psid)

惰性气体工作温度：400 °C (752 °F) @ 27.5 bar (400 psig)

腐蚀性和活性气体工作温度：50 °C (122 °F) @ 52 bar (750 psig)

保修期：5 年

颗粒保留率：（以穿透力Max的颗粒尺寸为准）

在 300 slpm 时，对所有颗粒的去除率大于 99.9999999 %（9 LRV）；

在 750 slpm 时，对所有颗粒的去除率大于 99.9999 %（6 LRV）

超纯气体管路、高温应用、阀-歧管盒、新建工厂、升级现有的含氟聚合物过滤器、旋转冲洗干燥器、惰性气体和活性气体、散装气体、气相气体