ENTEGRIS气体净化系统GPS500Z3

连续高流量、使用点净化 XCDA（洁净干燥空气）净化气体，拥有成本低

GateKeeper 气体净化系统 (GPS) Z3 系列是 Entegris 新推出的连续服务气体净化系统。该系统为气体净化带来了新型的技术，为半导体制造商提供了创新、有效、经济的解决方案，用于净化干式和浸入式光刻工具中使用的净化气体。

新型 "Z3 "介质代表了 Entegris 在净化技术方面的新进展，其出口纯度可达到万亿分之一（ppt）的水平。该系统采用环境温度净化，因此净化时无需加热。这意味着节约资源和降低能源成本。全球定位系统能有效去除 CDA（空气）气体中的污染物，如挥发性酸碱、难熔化合物、可冷凝有机物和水分。

净化能力达到 ppt（百万亿分之一）级

压降低，无需改变入口压力

自再生净化器

拥有成本低

环境温度净化

断电不会损坏净化系统

GPS400Z3：Max流量 400 Nm³/hr (6211 SLM)

GPS500Z3：Max流量 500 Nm³/hr (7764 SLM)

GPS600Z3：Max流量 600 Nm³/hr (9317 SLM)

自动旁通阀、湿度指示器、带累加器的工艺气体质量流量计

产地：美国

净化气体：CDA（空气）

介质类型：无机

去除的污染物

挥发性酸：<1 ppt

挥发性碱：<10 ppt

难溶化合物：<1 ppt

可凝结有机物：<1 ppt

水分：<100 ppt

工作压力范围：5.51 至 17.23 巴（80 至 250 psig）

压降：< 14.5 psi @ 100 psig 和Max额定流量

Max流量：500 Nm³/hr (7764 SLM)    

气体工作温度：15 至 40 °C (60 至 104°F)

出口过滤（ISO 1 级）：<10 颗粒/m³ @ 0.1 μm；<2 颗粒/m³ @ 0.2 μm

泄漏等级：1 × 10^-9 atm cc/sec

光刻技术、FOUP 清洁和吹扫、储料器清洗和吹扫、需要 XCDA 净化气体的其他应用