ENTEGRIS溶氧传感器DPAAAHEA24W

光学监控解决方案，用于检测和监控化学镀应用中的低溶解氧水平 。化学电镀工具和电镀槽中溶解氧的存在给工艺化学带来了巨大挑战。不受控制的溶解氧水平会导致反应率降低和触点腐蚀加剧。为了满足这一重要的工艺要求，我们推出了 InVue 溶氧传感器，这是一种新型的、基于光学的高灵敏度发光体（传感器），专门针对高纯度、腐蚀性化学镀工具和镀液应用。

利用成熟的发光和检测技术，InVue 溶解氧传感器能持续测量溶解氧水平，并将对化学电镀应用的干扰降低。InVue 传感器在 PTFE 外壳中使用清洁的硅树脂湿膜，可监测金属活性电镀化学反应中的溶解氧水平。这可以提高工艺产量，延长工具和工艺化学剂的使用寿命，并降低运营成本。InVue 传感器还有可能为下一代 20 nm以下的前端生产线 (FEOL) 和后端生产线 (BEOL) 提供类似的优势。

高灵敏度溶氧发光体

数字报警输出，可在发光体寿命结束时提前显示

连续模式操作

用于校准的 GUI 软件

不消耗氧气

两个模拟输出

浓度：快速响应，可进行准确的浓度监测

温度：集成温度监测和实时补偿功能

结构紧凑，安装空间有限

二次密封设计，提高保障性

直通流道

产地：美国

流体部件本体材质：聚四氟乙烯

发光体材质：硅橡胶

O 形圈材质：Perfrez PXC Ultra

非浸湿部件材质：聚丙烯、PVDF、Santoprene 护套电缆、Viton、涂层 SST 紧固件

工艺温度：15 至 60 °C（59 至 140 °F）

工作压力：0 至 276 kPa (0 至 40 psig)

范围：0.02 至 10 ppm，15 °C (59 °F)

浓度分辨率：± 0.015 ppm

电气输入：24 VDC

电气输出：两个 0 至 5 V 输出，一个用于浓度输出，一个用于温度输出；单个数字输出，报警时从高电平 (5 V) 切换到低电平 (0 V)

可连续测量以下应用中的溶氧水平：光刻化学镀、金属反应电镀化学