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无论是自动化、过程控制还是保障问题都需要压力测量,仪器须清洁、准确、可靠。为满足半导体行业的需求,Entegris 将电子传感技术与高纯度材料相结合,创造出可更好地控制过程变量的产品。NT 压力传感器不含任何可能污染工艺的活动部件或填充液。非金属传感器的润湿部件由 PTFE 和其他高纯度含氟聚合物组成。标准电气连接采用 FEP 护套尾纤,因此传感器可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。这些传感器采用非金属压力传感技术,测量准确可靠。所有产品均在出厂前进行校准和检验,无需进行现场校准或调整,从而降低安装速度。标准电子输出可与 PLC、控制系统和电子显示器轻松集成。
在高纯度应用、腐蚀性化学品和 CMP 泥浆中提供可靠的压力测量
出厂前经过完整的功能测试,精度为满量程的 1 %
无活动部件或填充流体,降低污染可能性
流通设计很大限度地减少了死体积,降低了污染可能性
适用于高纯度应用的 PTFE、PFA、CTFE 和 Perfrez 润湿表面
符合行业标准的 PrimeLock 和 Flaretek 扩口连接可减少夹带区域、Min占地面积、提供系统设计灵活性并简化安装
产地:美国
主体材质:PTFE
传感器接口材质:PFA 或 CTFE
主密封材质:Perfrez
非润湿部件材质:聚丙烯、聚乙烯、氟橡胶、PVDF(除上述材料外)
压力范围:0 至 207 kPa (0 至 30 psig);0 至 414 kPa (0 至 60 psig);0 至 690 kPa (0 至 100 psig)
过压限制:满量程范围或接头Max额定压力的 150 %
工艺温度:10 至 65 °C (50 至 149 °F);65 至 95 °C (149 至 203 °F)
工艺连接选项
Flaretek 卡套管接头:1⁄4 ", 3⁄8 ", 1⁄2 ", 3⁄4 ", 1 "
PrimeLock 管接头:1⁄2 "、3⁄4 "、1 "
超 300 型支柱管接头:1⁄4 "、3⁄8 "、1⁄2 "、3⁄4 "、1 "
电气输入:24 VDC (12 至 30 VDC 输入电压)
电气输出:4 至 20 mA, 0 至 5 VDC, 0 至 10 VDC
参考精度:±1 % 满量程(包括线性、滞后和重复性的综合影响)
电气外壳:IP 54
符合认证:CE
化学品和去离子水分配、过滤器寿命监测、再循环回路中的背压、使用点分配、工具优先级
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