ENTEGRIS液体过滤器AE20T0M100M01FT

高纯度、稀酸和稀碱缺陷减少解决方案，可提高晶片产量性能。Astera 液体过滤器可为大流量和使用点 (POU) 酸性和碱性水基工艺化学品提供同类更好的过滤效果。10 nm 等级类型可提供更高的颗粒截留能力，其流速具有更开放膜的特点。这种过滤器的高流速与去离子水预湿包装相结合，可在较短的停机时间内实现快速冲洗。

Astera 过滤器采用原生聚芳砜（PAS）膜技术，用于筛分和非筛分污染物捕获，减少晶片缺陷，提供清洁的化学品输送。PAS 仍是稀释水性化学物质的材料，而 Astera 过滤器的 10 nm 原生膜则在此基础上提供了更优良的全 pH 选项

PAS 膜可确保化学纯度，提供更低的基准 WPA

去离子水预湿包装可实现快速冲洗，从而减少停机时间，更快地投入生产

高流量、10 nm 膜可实现快速冲洗和设备化学品吞吐量，从而减少停机时间，更快投入生产

未经改性的原生膜可在所有 pH 值条件下提供先进的颗粒截留能力，从而减少了用于多种稀释应用的单一产品的库存量

产地：美国

膜材质：聚芳砜 (PAS)

支座、套管、核心、端盖材质：高密度聚乙烯 (HDPE)、聚丙烯 (PP)

Code 0 双 2-222 O 形圈：包封氟聚合物 (E-FKM) 或 Kalrez® 6375

Chem-Line II 一次性外壳：PP

截留等级：10 nm

10"膜表面积：1.4 平方米（15.07 平方英尺）

20"膜表面积：2.8 平方米（30.14 平方英尺）

Max正向压差：0.21 兆帕（2.1 巴，30 psid），温度为 25 °C (77 °F)

Max反向压差：0.21 兆帕（2.1 巴，30 psid），温度为 25 °C (77 °F)

Max工作压力：0.14 兆帕（1.4 巴，20 psid），温度为 25 °C (77 °F)

Max工作温度：70 °C (158 °F) @ 10 psi

酸性工艺化学品，如 BOE 和 DHF、基本工艺化学品，如 NH₄OH 和 TMAH、去离子水

散装和定点使用、低温工艺（< 70 °C [158  °F])