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MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超声波液体流量控制器,这款高性能闭环流量控制器设计用于各种液体,包括去离子水、刺激性化学品和CMP抛光浆料。LFC-7000流量控制器采用无移动部件的超声波流量计模块提供“正常运行时间”(含夹管更换周期为 3 年或更长时间的浆料模块)。
产地:美国
标准满量程范围:50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min
精度:(室温DIW):设定点的 ±1% 或± 3mL/min(以较大者为准)
重复性:设定值的 ±1% 或 ±1 mL/min(以较大者为准)
控制重复性:±设定点的 0.5% 或 ±0.5mL/min(以较大者为准)
流量控制时间:< 3 秒
流体温度:10℃- 60℃
环境温度:0 - 40℃
环境湿度:30 - 80% RH,不结露
预期工作压力Max:50 磅/平方英寸
内部压力Max:70 磅/平方英寸
压差范围:7 至 30 psid
非接液部件外壳材料:PPS、PEEK、亚克力、乙烯基、PVC
接液部件材料:PFA、PTFE、铂固化有机硅
阻燃:FMET4325
安装方向:水平或垂直
流体连接:入口/出口:1/4" 或 3/8",扩口或柱形
流量限制(孔口):> 2 mm
入口防护等级:IP64
电源输入:24 V±10 %
电流消耗Max:0.5 A
控制信号输入:0 至 10 V或 4 至 20 mA
流量信号输出:0 至 10 V或 4 至 20 mA
半导体CMP工具
基于蠕动泵的输送系统
控制清洁化学品的混合和输送
流体混合
点胶应用
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