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MALEMA流量控制器LFC-7000

MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超声波液体流量控制器,这款高性能闭环流量控制器设计用于各种液体,包括去离子水、刺激性化学品和CMP抛光浆料。LFC-7000流量控制器采用无移动部件的超声波...
  • 品牌:MALEMA
  • 型号:LFC-7000
  • 阅读次数:203

产品介绍

MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超声波液体流量控制器,这款高性能闭环流量控制器设计用于各种液体,包括去离子水、刺激性化学品和CMP抛光浆料。LFC-7000流量控制器采用无移动部件的超声波流量计模块提供“正常运行时间”(含夹管更换周期为 3 年或更长时间的浆料模块)。

性能特点

  • 高精度,将流量控制在设定值的 ± 1%以内
  • 快速响应3 秒
  • 2 种类型的控制阀应用范围广
  • 广泛的流量控制能力
  • 全PTFE/PFA 润湿部件结构 - 确保与高压液体化学品、去离子水和 CMP 浆料兼容(浆料模块配有铂固化硅胶管)

技术参数

产地:美国

标准满量程范围:50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min

精度:(室温DIW):设定点的 ±1% 或± 3mL/min(以较大者为准)

重复性:设定值的 ±1% 或 ±1 mL/min(以较大者为准)

控制重复性:±设定点的 0.5% 或 ±0.5mL/min(以较大者为准)

流量控制时间:< 3 秒

流体温度:10℃- 60℃

环境温度:0 - 40℃

环境湿度:30 - 80% RH,不结露

预期工作压力Max:50 磅/平方英寸

内部压力Max:70 磅/平方英寸

压差范围:7 至 30 psid

非接液部件外壳材料:PPS、PEEK、亚克力、乙烯基、PVC

接液部件材料:PFA、PTFE、铂固化有机硅

阻燃:FMET4325

安装方向:水平或垂直

流体连接:入口/出口:1/4" 或 3/8",扩口或柱形

流量限制(孔口):> 2 mm

入口防护等级:IP64

电源输入:24 V±10 %

电流消耗Max:0.5 A

控制信号输入:0 至 10 V或 4 至 20 mA

流量信号输出:0 至 10 V或 4 至 20 mA

产品应用

半导体CMP工具

基于蠕动泵的输送系统

控制清洁化学品的混合和输送

流体混合

点胶应用


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