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SIOS差分激光干涉仪SP 5000 DI

我们的超稳定差分激光干涉仪SP 5000 DI具有独特的热稳定性,因此是研发中长期测量的选择,例如用于材料性能分析。与标准干涉仪不同,在差分型中,参考光束从传感器头引出,并平行于测量光束。这一概念允许...

产品介绍

我们的超稳定差分激光干涉仪SP 5000 DI具有独特的热稳定性,因此是研发中长期测量的选择,例如用于材料性能分析。

与标准干涉仪不同,在差分型中,参考光束从传感器头引出,并平行于测量光束。这一概念允许将传感器放置在离实际测量位置更大的距离处,而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。该干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内,并且由于微分原理,即使在正常的实验室条件下,也可以在类似的测量或光束长度下实现。

如果使用倾斜不变反射器进行测量,则长度测量的测量范围可以是几米。干涉测量系统具有模块化设计,并且因此可以适用于相应的测量任务。

调整很简单,特别是可以长期稳定地实现。对基于SP 5000 DI干涉仪的干涉多轴系统的扩展允许同时进行多坐标测量。

性能特点

  • 高精度的差动长度或角度测量
  • 通过差分测量更小化环境影响
  • 热长期稳定传感器,温度灵敏度<20 nm/K
  • 可以使用各种光学反射器,例如球面、平面反射镜反射器
  • 测量反射镜的大倾角不变性
  • 标准不锈钢传感器头设计
  • 光束距离:21毫米
  • 广泛的触发器选项
  • Windows和Linux下OEM软件的开放接口

可选功能与配件

球反射器直径15毫米

球形反射器单元

环境校正

技术参数

产地:德国

位移测量范围:5 m

位移分辨率:5 pm

角度测量范围

带反射器:±12.5°

带平面镜(建议距离≤2m):±1.5弧分

光束距离(标准):21 mm

波长:632.8 nm

HeNe激光器的频率稳定性(预热时间之后):2·10-8

HeNe激光器的预热时间:10 ... 20 min

工作温度范围:15 ... 30°C

测量反射镜的位移速度:max.3 m /s

传感器头和电子单元之间的电缆长度:3 m,max.10 m

电源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(长x宽x高)

传感器头(带基板):150 x 140 x 43 mm

电子供应和评估单元(标准):450 x 400 x 150 mm

电子供应和评估单元(紧凑):250 x 400 x 150 mm

重量

感测头:2.0 kg

底盘:1.5 kg

产品应用

差分激光干涉仪可作为OEM版本提供,可作为编码器安装在机器轴上。对于真空测量,SP 5000 DI可作为真空优化版本提供。

标准光束距离为21毫米。我们可根据要求提供其他光束距离。

规格参数

位移测量范围:5 m

位移分辨率:5 pm

角度测量范围

带反射器:±12.5°

带平面镜(建议距离≤2m):±1.5弧分

光束距离(标准):21 mm

波长:632.8 nm

HeNe激光器的频率稳定性(预热时间之后):2·10-8

HeNe激光器的预热时间:10 ... 20 min

工作温度范围:15 ... 30°C

测量反射镜的位移速度:max.3 m /s

传感器头和电子单元之间的电缆长度:3 m,max.10 m

电源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(长x宽x高)

传感器头(带基板):150 x 140 x 43 mm

电子供应和评估单元(标准):450 x 400 x 150 mm

电子供应和评估单元(紧凑):250 x 400 x 150 mm

重量

感测头:2.0 kg

底盘:1.5 kg


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