SIOS量块检测站EPP

用于校准平行量块的量块测试站 EPP 使用激光干涉测量探头 LM 20 作为上测量探头。测量范围为 20 mm，分辨率为 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig 确定了一个该探头的量块校准的测量偏差小于 10 nm。根据 PTB 的建议，对于 122 块量块组，所需的标准量块数量可以减少到 15 个。量块检查装置的线性误差（未对准、探头未对准、温度影响）可以通过校准程序确定和校正。量块测试站的便捷操作以及测量值的校正、评估和输出通过带有“PEKAL”软件（平行量块校准）的PC进行。

校准一套 122 件套只需大约 15 个标准件

由于重新校准工作量低而节省成本

通过用户指导的测量过程和少量标准量块节省测量时间

可以校准不寻常的标称尺寸和材料

整个测量范围内的高线性度

在整个测量范围内恒定的测针测量力

使用“PEKAL”评估软件校正测试对象和常温