ONTO光刻系统JetStep G45

JetStep G45 系统可满足移动显示行业的苛刻要求。该系统基于成熟的步进技术，将优化的性能与良好的拥有成本相结合。JetStep G45 系统在 >200mm 的视场直径范围内具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光学结合高速运动使系统能够实现<0.5μm的覆盖。JetStep G45 系统放大光学器件允许使用 6 英寸标线片（掩模），与竞争技术相比，显着降低了加工成本。此外，该系统占地面积小，可大限度地降低设施成本，其无摩擦运动可减少磨损，从而降低维护成本。综合节省导致成本低廉的制造过程，降低了资本支出和拥有成本 (COO)。 

• 自动放大控制增加了工艺窗口
• 板载标线管理系统提供大利用率
• 用于现场校准的机载计量包
• 在每个曝光位置进行动态自动对焦，以自动调整面板拓扑上的焦点
• 提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断

• 分辨率达 1.5µm 的高保真投影镜头和照明系统
• 行业标准的 6 英寸光罩格式，用于经济的制造