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LUMENTUM调Q激光器Q301-HD-1000R

Lumentum Q 系列激光器用于各种高精度微加工应用的高功率 Q 开关二极管泵浦紫外和绿光激光器市场。无论是对陶瓷等材料进行高脉冲能量处理、对蓝宝石或硅等材料进行高重复率处理,还是对薄膜太阳能电池...

产品介绍

Lumentum Q 系列激光器用于各种高精度微加工应用的高功率 Q 开关二极管泵浦紫外和绿光激光器市场。无论是对陶瓷等材料进行高脉冲能量处理、对蓝宝石或硅等材料进行高重复率处理,还是对薄膜太阳能电池进行图案化,Q 系列激光器都能提供高性能和正常运行时间。

性能特点

  • 高的商用脉冲能量和峰值功率
  • 由于独特的腔内谐波产生实现了能量稳定性,因此更严格的过程控制
  • 由于脉冲能量、脉冲宽度和重复频率的选择范围广,因此能够处理广泛的材料
  • 由于谐波晶体中的低能量密度和暴露于紫外线的无腔光学涂层,可靠性高
  • 提供 355 和 532 nm 输出
  • 可根据要求定制

选型指南

可选功能与配件

Q-PS-1000R:标准电源

Q-PS-A30R:3 米柔性脐带电缆

Q-PS-A50R:5 米柔性脐带电缆

Q-PS-A70R:7 米柔性脐带电缆

Q-PS-A100R:10 米柔性脐带电缆

QA-CH:标准 110 VAC

QA-CH-E:欧洲 220 VAC

QA-CH-A11:一对 3 m 软管,直/直接头

QA-CH-A12:一对 5 m 软管,直/直接头

QA-CH-A21:一对 3 m 软管,直角/直型接头

QA-CH-A22:一对 5 m 软管,直角/直型接头

QA-CH-A31:一对 3 m 软管,直角/直角接头

QA-CH-A32:一对 5 m 软管,直角/直角接头

技术参数

波长:355 纳米

极化:>100:1

空间模式 TEM00

M-平方:<1.2

腰部位置(内部,从光束出口):42±0.4 cm

腰部直径 1/e:0.26 mm 标称

光束圆度:>85% 圆形

光束发散角,全角:1.8±0.35 mrad

(Q304-HD-1000R:2.0±0.35 mrad)

光束指向漂移,全角:<10 μrad/°C

指向漂移,超过 8 小时,全角度:2 <50 μrad

光束位置精度,单位到单位:从标称<2.5 mm

光束指向精度,单位到单位:从标称<1°

控制器重复率

内部触发:1 kHz 至 250 kHz

外部触发:0 至 250 kHz

8 小时内的功率漂移: <±2%

热身时间

从冷启动:<20 分钟

从待机:<10 分钟

工作环境温度:15 至 35°C

相对湿度,非冷凝:10 至 80%

重量:14.5 公斤

产品应用

晶圆划线

全切割晶圆切割

低k介电开槽

硅、蓝宝石、陶瓷和金属的微加工

微孔钻孔

PCB和柔性板切割


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