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SIGMAKOKI压电辅助平台TADC-602WSPA

XY 轴载物台,通过在手动载物台上添加压电辅助机构,可以进行 20nm 或更小的微调。 非常适合需要高分辨率位置调整的手动平台单元和系统。可提供 25x25、40x40、60x60mm 的载物台尺寸。...
  • 品牌:SIGMAKOKI
  • 型号:TADC-602WSPA
  • 阅读次数:584

产品介绍

XY 轴载物台,通过在手动载物台上添加压电辅助机构,可以进行 20nm 或更小的微调。 非常适合需要高分辨率位置调整的手动平台单元和系统。可提供 25x25、40x40、60x60mm 的载物台尺寸。

注:

安装载物台时,请注意不要让千分尺支架受到震动。 否则,压电辅助机构可能会损坏。

压电辅助专用控制器(PASC)的电源关闭时,压电辅助的位置调整将改变,微调位置将移动。

性能特点

  • 压电辅助平台的专用控制器无需任何设置即可轻松进行微调。
  • 表盘式旋钮的微调即使与测微头结合使用也可以毫无阻力地使用。
  • 使用压电辅助控制器(PASC)调整微调机构。压电辅助平台随附一根压电辅助控制器连接电缆 (2m)。

技术参数

载物台尺寸 [mm]:60×60

行程轴:XY 轴

粗调行程 [mm]:±6.5

精细驱动行程 [μm]:>30μm

千分尺位置:侧面

行程/旋转 [mm] :0.5

千分尺可读分辨率 [mm] :0.01

压电分辨率:<20nm

导向方式:延伸接触球轴承导向

主要材料:铝

涂层:黑色阳极氧化

负载能力 [N] :49(5kgf)

行程精度/直线度 [μm] :3

力矩容量max.:

间距 [N・m] :4.9

滚动 [N・m] :4.9

偏航 [N・m] :4.9

力矩刚度

间距 [″/N·cm] :0.6

滚动 [″/N・cm] :0.6

平行度 [μm] :50

正交性 [μm] :10

运行平行度 [μm] :20

重量 [kg] :0.5

产品尺寸


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