BOC EDWARDS涡轮分子泵STP-iXA4506

Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 采用先进的技术，为当今具有挑战性的应用提供良好的性能、改进的气流能力和高温管理。 STP-iXA4506 TMP 在 12-16 英寸（300-400 毫米）入口法兰上实现了 4300 l/s (N2) 的抽速和高达 4300 sccm (N2) 的吞吐量，使 STP-iXA4506 TMP 成为 广泛的大容量、高流量应用，包括半导体蚀刻、LCD 蚀刻、玻璃涂层、太阳能 PVD 和涂层 PVD。其紧密集成的设计包括一个完全密封的电子模块，可在苛刻的工厂环境中实现稳健、可靠的运行。 而且，与我们所有的磁悬浮 TMP 一样，无机械轴承实际上去除了定期维护的成本。

• 温度管理系统（TMS）单元可用于产生副产品的过程。
• 可选的 B* 涂层可适用于使用 TMS 的高通量工艺。
• 完全集成的控制器和电源去除了对电缆和单独的控制器机架的需求，从而形成了具有成本效益的紧凑型 TMP 封装，安装速度快、安装方便、占地面积小。
• 该泵将在冷却水供应高达 35°C 的情况下运行。

• 出口法兰：KF40
• 允许背压：266(2)Pa(Torr)
• 最大气体流量N2：4300
• 最大气体流量Ar：2600
• 额定转速：24,240rpm
• 启动时间：≤11分钟
• 安装位置：任意方向
• 输入电压：200-240V
• 不带TMS的最大输入功率：1700VA
• 有TMS的最大输入功率：2200VA