BOC EDWARDS真空隔离阀VIV25EKA

VIV 真空隔离阀旨在与 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初级泵一起使用，是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀，旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室 . 当 VIV 关闭时，前级泵排气。 当泵停止或停止时，VIV 可保护工艺室不被通风。 当前级泵重新启动时，阀门将在 VIV 内的压力下降时缓慢打开，从而大限度地减少任何压力爆裂的影响。

• VIV 阀具有高传导性
• 快速关闭动作
• 断电保护
• 灵活的安装选项
• 不限制主泵性能
• 防止蒸汽或微粒从前级泵迁移到工艺室
• 防止电源故障时工艺室排气

• 关闭压差:>200 mbar
• 开启压差:<200 mbar
• 开启开关时间:<15s
• 用于合闸切换时间:<0.1s
• 响应时间切换时间:<0.05s
• 机身材质:铝
• 密封材料:氟橡胶