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该系统是直线推杆 LSMA-200(垂直行程 100 mm)和 XY 工作台 LSMA-167(行程 25 x 25 mm)的组合。可根据要求提供不同的阶段组合和行程行程。作为选项,可以安装旋转台 RTHM-190。
旋转台(可选)RTHM-190
旋转:无限制
重复性:20 arc-sec
分辨率:2 arc-sec
扭矩:1 Nm
角速度:8 rpm
机械,比率:蜗轮,180:1
电机:步进
伺服
升降台LSMA-200
行程:100 ... 200 mm
重复性:1µm
分辨率:0.25 µm
负载能力:4 kg
速度: 20 mm/sec(伺服)
机械,丝杠导程:丝杠,0.5 mm
电机:步进
伺服
XY载物台XY-LSMA-167-25x25
重复性:1 µm
分辨率:0.25 arc-sec
升程平移:0.25 mm/rev丝杠
1mm/rev滚珠丝杠
速度:max.20 mm/sec(伺服)
机械,丝杠导程:丝杠0.25 mm,滚珠丝杠 1 mm
电机:步进
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