BDISCOM电源BDS SP 3

BDISCOM是一家制造公司，生产直流低压和高压/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体反应器系列，还提供发电机、电源和过程控制系统。多年来积累了丰富的设计开发经验，通过不断地研究创新，提高产品质量及性能，满足客户需求。

BDS SP 3是用于直流溅射工艺的新型电源系列。

• 所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏显示器
• 点火电压高达 1,1 kV
• 电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec
• 冷却空气

• 电源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
• max功率输出：3、6 和 12kw FS
• max电压输出：1000 Volt FS
• max电流输出：6、12 和 25 安培
• 点火：1,1 KVolt
• 电弧探测器：< 200 nSec 检测，< 1 mSec DV/DT 关闭时间
• 效率：> 90 %
• 显示：触摸面板 240x128 像素
• 调节模式：功率/电压/电流（可选）
• 冷却：空气（强制）
• 接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 选项）
• 工作温度：5-40°C
• 尺寸：19” 机架 - 4HU