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SEMILAB激光椭偏仪LE-103PV

用于硅太阳能电池的激光椭偏仪 紧凑型创新设备,旨在测量沉积在纹理硅(单硅和多硅)衬底上的抗反射涂层的厚度和光学常数。可以轻松实现优化的入射角(12-90°),以获得沉积在多晶结构晶圆上的薄膜的...
  • 品牌:SEMILAB
  • 型号:LE-103PV
  • 阅读次数:592

产品介绍

用于硅太阳能电池的激光椭偏仪 紧凑型创新设备,旨在测量沉积在纹理硅(单硅和多硅)衬底上的抗反射涂层的厚度和光学常数。可以轻松实现优化的入射角(12-90°),以获得沉积在多晶结构晶圆上的薄膜的大信号。金字塔结构可以定向以获得正确的测量值,同时将样品牢固地保持在适当的位置。

性能特点

  • 确定减反射涂层的薄膜厚度和光学常数(折射率和消光系数)
  • 用于稳定性和自动校准的集成光学元件
  • 微点聚焦光学元件,用于良好信号收集。
  • 特别改装的样品架,适用于 156×156 mm 的样品池尺寸。
  • 在线集成,实现快速过程控制。
  • 符合智能软件标准。
  • 样品对准:用于手动倾斜和高度调整的大信号检测。

技术参数

  • 测量波长:632.8 nm(氦-Ne激光)
  • 样品台:兼容 156 × 156 mm
  • 测角仪:55° - 90° 手动控制

 


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