ENTEGRIS浓度监测仪InVue CR288

带有 288-connect软件包的 InVue CR288 浓度监测器可提供使用点化学品/混合混合、加标和稀释的实时信息，而不会干扰或中断过程。 基于 PC 的图形用户界面和 LCD 显示屏集成了数据收集、分析和现场校准以及方便、可扩展的数据界面和采集选项。 光学系统计算实时浓度和温度补偿数据，所有这些都是为了提高生产率。CR288 浓度监测器采用创新的折射率技术，采用紧凑灵活的配置。该测量基于过程流体中光的折射，从而产生了一种准确和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器准确地测量折射率和过程流体的温度。该信息通过互连电缆传输到远程数字显示单元 (DDU)。 DDU 使用此信息以及用户定义的特性来计算过程流体的浓度。 DDU 在液晶显示屏 (LCD) 屏幕上显示折射率、温度和浓度。它还输出 4 至 20 mA 和 RS-232 信号，可用作过程控制器的输入。

通过折射率 (IoR)，这款具有成本效益的高性能浓度监测器可提高监测 BEOL、FEOL 和次晶圆厂化学品混合和输送系统的工艺效率

该装置占地面积小，可方便地直接安装在工艺化学品中