ENTEGRIS气体扩散器Chambergard FV50D XL

FV50D XL 扩散器是通过小化负载锁定排气周期时间来可靠地增加系统吞吐量的选择。 这款二代扩散器可以承受更高的工作压力 (60 psig)，额定循环次数为 100 万次，从而大大提高了性能并降低了拥有成本。 我们的 Chambergard系列产品可快速排放到大气中，而不会干扰腔室中的晶圆或向晶圆添加颗粒。 它们将扩散器的流动特性与过滤器相结合，以提高吞吐量。 凭借我们的全球基础设施，我们可以提供 Chambergard 快速排气扩散器，以满足您在全球范围内的需求。

额定循环次数为 1,000,000 次，设计用于在更高的入口压力下运行

紧凑型扩散器单元中的烧结镍技术可在所有应用中提供良好的性能

从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，大限度地减少晶圆缺陷

易于安装/改装到现有工具中，大限度地减少停机时间