SENS4隔膜真空计VDM-2

VDM-2 陶瓷膜片真空传感器采用耐腐蚀的氧化铝膜片，膜片可随施加的压力而弯曲。核心压力传感器元件采用压电电阻测量法。膜片传感器测量的真空气体压力不受气体类型或成分的影响。与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电真空传感器相比，陶瓷压电传感器元件清洁干燥，减免了污染真空系统的风险。电容式隔膜真空计在许多真空应用中用于测量和控制的过程。VDM-2 传感器是传统 1000 托/mbar 全量程电容式隔膜真空计 (CDG) 的替代产品，性价比高且结构紧凑。VDM-2 可用于可能存在腐蚀性气体和化学物质的苛刻真空应用中。陶瓷氧化铝膜片具有良好的耐腐蚀性，可抵御多种溶剂和酸性物质。VDM-2 传感器还可选配 Parylene 保护层，以防止传感器材料受到腐蚀或氧化。Parylene 是一种独特的聚合物，具有很强的耐腐蚀性和疏水性，专门设计用于冻干和过氧化氢等离子灭菌等应用。

测量范围从 1.0E-1 到 1333 mbar，共 4 个量程

经济实惠，可替代传统的 1000 托全量程 CDG

整个压力范围内的测量与气体无关

耐腐蚀陶瓷或聚对二甲苯膜片

0-10 VDC 可编程电压输出

数字 RS-232 或 RS-485 接口

用于外部控制的可选固态设定点继电器

可直接替换其他供应商的真空计

15 引脚 HD D-sub RS-232 / RS-485

引脚说明

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 常开触点

8 继电器 1 公共端

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 共用

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 常开（常开触点）或模拟输出 2

14 继电器 3 共用

15 继电器 3 常开（常开触点）

• RS-232 / RS-485 至 USB 转换器，带墙插电源

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 至 USB，15 针 HD D-sub，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 转 USB，15 针 HD D-sub，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 转 USB，9 针 D 型超微，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通讯器 USB，9 针 D-sub 接口，电源（90 至 230 VAC）

• TrueVac 手持显示屏

TVC-1-01 TrueVac 显示单元

CBL-TVC1-9DS-02 电缆 TVC-1 至 9 针 D-sub, 2 米

CBL-TVC1-9DS-03 电缆 TVC-1 至 9 针 D-sub, 3 米

CBL-TVC1-15HDS-02 电缆 TVC-1 至 15 HD 针 D-sub，2 米

CBL-TVC1-15HDS-03 电缆 TVC-1 至 15 HD 针 D-sub，3 米

CBL-TVC1-RJ45-02 电缆 TVC-1 至 RJ45，2 米

CBL-TVC1-RJ45-03 电缆 TVC-1 至 RJ45，3 米

产地：丹麦

测量范围：0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 托）

测量原理：陶瓷膜片压电电阻式

精度 100 至 1333 mbar：读数的 0.5 %

精度 1 至 99.9 mbar：满刻度的 0.05 % (1333 mbar)

磁滞 1×10^-1 至 10 mbar (ISO19685:2017)：读数的 1 %

磁滞 10 至 1200 mbar（ISO19685:2017）：读数的 0.1 %

模拟输出分辨率：16 位 (150 µV)

模拟输出更新率：560 Hz

响应时间（ISO 19685:2017）：< 20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

固态继电器设定点范围：1 至 1333 mbar（0.75 至 1000 托）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器触点耐久性：无限制（无机械磨损）

固态继电器认证：UL 认证： 文件 E76270；CSA 认证： 证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

储存环境温度：-40 至 +80 ℃

烘烤温度（非工作）：+80 ℃

Max介质压力：2 巴压力_Abs（29 psia）

爆破压力：压力_Abs 4 巴（58 psia）

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（热敏；可恢复）

外壳：SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061

真空处理法兰（介质浸湿）：不锈钢 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（与介质接触） 标准型：316 不锈钢、氟橡胶、氧化铝 (AI2O3 96%)

真空暴露材料（与介质接触） 聚对二甲苯保护型：316 不锈钢、氟橡胶、聚对二甲苯

工艺泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS 指令：欧盟指令 2015/863

半导体加工、PVD 涂层、CVD 加工、器械灭菌、短程蒸馏、真空炉、冷冻干燥