SENS4电离真空计VPM-4 SmartPirani

VPM-4 SmartPirani LT 传感器基于创纪录的 VPM-5 SmartPirani 传感器所使用的热损失传感器技术，测量范围为 13 至 1E-6 mbar（10 至 7.5E-7 torr）。该传感器技术将热导真空计的可用测量范围扩大了 1-3 倍，从而确立了新的标准。SmartPirani 基于新型的 MEMS（微机电系统）传感器技术，结合了数字信号处理架构和创新测量算法，只有 Sens4 才能提供。SmartPirani LT 扩展了测量范围，可用于传统的热阴极电离真空计或冷阴极电离真空计的测量范围。SmartPirani LT 针对低量程测量性能进行了优化，其上限测量范围可达 13 mbar（10 托）。 SmartPirani 传感器系列还包括全量程 VPM-5 SmartPirani（提供 2 至 1333 mbar的独立气体测量）和 VPM-7 SmartPirani ATM（进一步提供大气开关功能）。用户可通过 PC 或智能手机的数字通信接口对传感器设置和参数进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可通过串行接口或 S4-Connect 接口进行配置。数字接口可进行诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及获取实时真空压力测量值，以便在屏幕上进行可视化。S4-Connect USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是一种即插即用的解决方案，可用于传感器编程、实时测量和诊断。

测量范围为 1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10 托）

超宽量程高性能 MEMS 皮拉尼传感器

创新数字信号处理  

可安装在任何方向而不影响性能

可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真

数字 RS-232 或 RS-485 接口

低压真空开关

用于真空过程控制的三个固态设定点

10 bar（145 磅/平方英寸）的高过压容限

坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计

15 引脚 HD D-sub RS-232 / RS-485 引脚说明

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 NO（常开触点）

8 继电器 1 通用

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 共用

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 常开（常开触点）

14 继电器 3 共用

15 继电器 3 常开（常开触点）

• CAL-VPM4-DAKKS DAkkS 实验室认可的校准证书
• S4-Connect USB 编程器

PRG-S4-15DS-01 S4-Connect USB 编程器，15p HD D-sub 接口

PRG-S4-9DS-01 S4-Connect USB 编程器，9p D-sub 接头

PRG-S4-RJ45-01 S4-Connect USB 编程器，8 个 FCC68/RJ45 连接器

PRG-S4-HM-01 S4-Connect USB 编程器, 6p 赫斯曼接口

• 用于 VPM-4 SmartPirani LT 传感器的 USB 至串口转换器（90-230 VAC 墙插供电）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 转 USB, 15 针 HD D-sub, 电源 (90-230VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 针 HD D-sub、电源（90-230VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 转 USB，9 针 D 型超微，电源（90-230VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 转 USB 通讯器，9 针 D-sub 接口，电源 (90-230VAC)

• USB 至串口转换器，用于 VPM-4 SmartPirani LT 传感器（USB 端口供电）

PRG-RS2-15DS-01 RS-232 通讯器 USB, 15p HD D-sub 接头

PRG-RS4-15DS-01 RS-485 通讯器 USB, 15p HD D-sub 接头

PRG-RS2-9DS-01 RS-232 USB通讯器，9p高清D-sub接口

PRG-RS4-9DS-01 RS-485 通讯器 USB, 9p D-sub 接头

• 电缆

CAB-F15DSM15DS-003 15p HD D-sub 母头转 15p D-sub 公头，带 3 米电缆

CAB-F15DSM15DS-005 15 p HD D-sub 母头转 15 p D-sub 公头，带 5 m 电缆

CAB-F15DSM15DS-010 15 p HD D-sub 母头转 15 p D-sub 公头，带 10 m 电缆

CAB-F9DSM15DS-003 9 p D-sub 母头转 15 p D-sub 公头，带 3 m 电缆

CAB-F9DSM15DS-005 9 p D-sub 母头转 15 p D-sub 公头，带 5 m 电缆

产地：丹麦

测量范围：1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10.0 托）

测量原理 1×10^-6 至 13.33 mbar：MEMS Pirani 热导率

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：读数的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-1 mbar：读数的 5 %

精度 1.00 至 13.33 mbar：读数的 30 %

滞后 1×10^-3 至 13.33 mbar：1 %

模拟输出分辨率：16 位 (150 µV)

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间（ISO 19685:2017）：< 20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

固态继电器设定点范围：5×10^-6 至 13.33 mbar（3.75×10^-6 至 10.0 托）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器认证：UL 认证： 文件 E76270；CSA 认证： 证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

存储环境温度：-40 至 +120 ℃

烘烤温度（非工作）：+120 ℃

Max介质压力_Abs：10 bar

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（可热恢复）

外壳材质：SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061

真空处理法兰（介质浸湿）：不锈钢 1.4307 / AISI 304L

真空外露材料（与介质接触）：304L 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO₂、Si₃N₄、金、氟橡胶、低放气环氧树脂

工艺泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：欧盟指令 2015/863

质谱仪、扫描电子显微镜、熔炉热处理、玻璃、光学器件、工具等的 PVD 涂层、制冷服务和制造、半导体加工