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iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的高等级设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器,与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比,具有同类更高的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合,可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。iVacSens ATM 包含一个热损耗 MEMS Pirani 传感器、一个Abs膜片传感器、一个气压传感器、一个真空温度传感器和一个环境温度传感器。所有传感器测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口访问。温度参数可用于在设备过热时发出关闭设备的警告或控制信号,或作为计算设备预测性维护的参数。
超宽测量范围达 9 个量程
3 个用于过程控制的数字设定值输出
模拟电压输出
数字 UART 接口
数字 RS-485 接口
远程零点调整
用于诊断的真空温度传感器
超紧凑设计
连接器引脚引出(10 引脚 0.5 毫米间距 FCC)引脚描述
1 电源电压 -(返回)
2 电源电压 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)
3 模拟电压信号 -(返回)
4 模拟电压信号 +
5 设定点 3 输出
6 设定点 2 输出
7 设定点 1 输出
8 UART 接收或 RS-485 B
9 UART 发送或 RS-485 A
10 远程零点输入
iVacSens 连接电缆 产品编号
FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 30 mm 长 CAB-FCC10P-030
FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 50 mm 长 CAB-FCC10P-050
FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 100 mm 长度 CAB-FCC10P-100
FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 150 mm 长 CAB-FCC10P-150
FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 200 mm 长度 CAB-FCC10P-200
FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 300 mm 长度 CAB-FCC10P-300
产地:丹麦
测量范围:1×10-6 至 1,333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)
测量原理 1×10-6 至 1.5 mbar:MEMS 皮拉尼热导率
测量原理 1.5 至 2 mbar:混合 MEMS Pirani / 压电读数
测量原理 2 至 1,333 mbar:MEMS 压电电阻膜片
精度 1×10-5 至 9.99×10-5 mbar:读数的 25 %
精度 1×10-4 至 9.99 mbar:读数的 5 %
精度 10.0 至 99.9 mbar:读数的 1 %
精度 100 至 800 mbar:读数的 0.5 %
精度 800 至 1,099 mbar:读数的 0.25 %
精度 1,100 至 1,200 mbar:读数的 0.5 %
磁滞 1×10-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017):1 %
磁滞 10 至 1,200 mbar(ISO 19685:2017):0.1 %
真空温度传感器范围:-20 至 + 85 ℃
真空温度传感器精度:+/- 1.5 ℃
传感器温度传感器范围:-20 至 + 85 ℃
传感器温度传感器精度:+/- 1.5 ℃
模拟输出:0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)
模拟输出分辨率:12 位
模拟输出更新率:124 Hz
响应时间:< 20 ms
温度补偿:+10 至 +50 ℃
设定点范围(Abs值):5×10-6 至 1,333 mbar(3.75×10-6 至 1000 托)
设定点输出高电平:> 2.9 VDC
设定点输出低电平:< 0.4 VDC
设定点输出源电流和灌电流:Max 1 mA
工作环境温度:-20 至 +50 ℃
介质温度:-20 至 +50 ℃
存储环境温度:-40 至 +120 ℃
烘烤温度(非工作):+120 ℃
Max介质压力Abs:10 bar
安装位置:任意
防护等级,EN 60529/A2:2013:IP 40
湿度,IEC 68-2-38:98 %,无冷凝
电源电压:+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC
功耗:25 mW(Max值)3.3 VDC 电源;95 mW(Max值)4 至 18 VDC 电源
限性反接保护:无
过压保护:无
质谱仪、扫描电子显微镜、真空泵集成、阀门集成、太空飞行、泄漏检测、飞轮储能、真空开关
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