400-9619-005

当前所在位置: 首页 > 产品首页 >检测、测量 、自动化、工业IT >压力检测 >真空计、真空传感器 >SENS4传感器模块VPi-5 iVacSens

SENS4传感器模块VPi-5 iVacSens

iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的高等级...

产品介绍

iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的高等级设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器,与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比,具有同类更高的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合,可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。iVacSens ATM 包含一个热损耗 MEMS Pirani 传感器、一个Abs膜片传感器、一个气压传感器、一个真空温度传感器和一个环境温度传感器。所有传感器测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口访问。温度参数可用于在设备过热时发出关闭设备的警告或控制信号,或作为计算设备预测性维护的参数。

性能特点

超宽测量范围达 9 个量程

3 个用于过程控制的数字设定值输出

模拟电压输出

数字 UART 接口

数字 RS-485 接口

远程零点调整

用于诊断的真空温度传感器

超紧凑设计

选型指南

产品结构与细节

连接器引脚引出(10 引脚 0.5 毫米间距 FCC)引脚描述

1 电源电压 -(返回)

2 电源电压 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模拟电压信号 -(返回)

4 模拟电压信号 +

5 设定点 3 输出

6 设定点 2 输出

7 设定点 1 输出

8 UART 接收或 RS-485 B

9 UART 发送或 RS-485 A

10 远程零点输入

可选功能与配件

iVacSens 连接电缆 产品编号

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 30 mm 长 CAB-FCC10P-030

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 50 mm 长 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 100 mm 长度 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 150 mm 长 CAB-FCC10P-150

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 200 mm 长度 CAB-FCC10P-200

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 300 mm 长度 CAB-FCC10P-300

技术参数

产地:丹麦

测量范围:1×10-6 至 1,333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)

测量原理 1×10-6 至 1.5 mbar:MEMS 皮拉尼热导率

测量原理 1.5 至 2 mbar:混合 MEMS Pirani / 压电读数

测量原理 2 至 1,333 mbar:MEMS 压电电阻膜片

精度 1×10-5 至 9.99×10-5 mbar:读数的 25 %

精度 1×10-4 至 9.99 mbar:读数的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar:读数的 1 %

精度 100 至 800 mbar:读数的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar:读数的 0.25 %

精度 1,100 至 1,200 mbar:读数的 0.5 %

磁滞 1×10-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017):1 %

磁滞 10 至 1,200 mbar(ISO 19685:2017):0.1 %

真空温度传感器范围:-20 至 + 85 ℃

真空温度传感器精度:+/- 1.5 ℃

传感器温度传感器范围:-20 至 + 85 ℃

传感器温度传感器精度:+/- 1.5 ℃

模拟输出:0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模拟输出分辨率:12 位

模拟输出更新率:124 Hz

响应时间:< 20 ms

温度补偿:+10 至 +50 ℃

设定点范围(Abs值):5×10-6 至 1,333 mbar(3.75×10-6 至 1000 托)

设定点输出高电平:> 2.9 VDC

设定点输出低电平:< 0.4 VDC

设定点输出源电流和灌电流:Max 1 mA

工作环境温度:-20 至 +50 ℃

介质温度:-20 至 +50 ℃

存储环境温度:-40 至 +120 ℃

烘烤温度(非工作):+120 ℃

Max介质压力Abs:10 bar

安装位置:任意

防护等级,EN 60529/A2:2013:IP 40

湿度,IEC 68-2-38:98 %,无冷凝

电源电压:+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC

功耗:25 mW(Max值)3.3 VDC 电源;95 mW(Max值)4 至 18 VDC 电源

限性反接保护:无

过压保护:无

产品尺寸

产品应用

质谱仪、扫描电子显微镜、真空泵集成、阀门集成、太空飞行、泄漏检测、飞轮储能、真空开关


返回首页 | 产品中心 | 客户中心 | 人才中心 | 合作平台 | 联系方式

Copyright© 2013-2024 天津西纳智能科技有限公司 版权所有
电话:400-9619-005
传真:400-9619-005
联系人:余子豪 400-9619-005
邮箱:sales@e-xina.com
地址:天津市和平区南京路235号河川大厦A座22D

a

津公网安备12010102000946号 津ICP备13001985号-1

扫描微信二维码关注我们

QQ联系
加企业微信咨询