几十年来,MEMS Pirani 传感器一直被用于许多不同的真空应用中,以测量和控制真空气体压力。MEMS Pirani 技术有很多优点,但到目前为止,由于其暴露在外的材料,该技术的使用和适用范围受到了限制。半导体行业常用的腐蚀性气体和侵蚀性蚀刻工艺会损坏传统的 MEMS Pirani 传感器,因此电容式隔膜真空计和对流式 Pirani 真空计一直是半导体工艺暴露和其他恶劣环境下的理想选择。
Sens4 现推出一系列新型 MEMS 皮拉尼传感器,其保形保护涂层可有效阻隔腐蚀性气体。根据不同的应用,SmartPirani传感器系列现在可选配陶瓷或聚对二甲苯保护层,以防止传感器材料的腐蚀或氧化。
陶瓷具有很强的耐腐蚀性,是电容式隔膜真空计中真空传感器隔膜的理想材料。陶瓷阻隔层选项专为半导体蚀刻和 CVD 应用而设计。
聚对二甲苯是一种独特的聚合物,具有高度耐腐蚀性和疏水性。Parylene 阻隔层专为医疗应用而设计,包括但不限于冻干和灭菌。
在某些应用中,微粒会损坏真空计,针对这些应用,SmartPirani 传感器配有保护性挡板,可作为宏观微粒的屏障。结合涂层选项,新型 SmartPirani传感器可用于恶劣的真空环境。
“Sens4 A/S 首席执行官 Ole Wenzel 表示:"很明显,我们在 2019 年推出的 MEMS SmartPirani传感器技术在性能和坚固性方面都优于对流线皮拉尼真空计。”Ole继续说道:“我们在各行各业都体验到,客户希望从老式的对流线皮拉尼真空计转向更先进的现代真空计,而保护涂层则是扩大我们传感器技术应用领域的一个推动因素。”
Sens4 A/S 首席技术官 Caspar Christiansen补充说:“我们不仅在皮拉尼传感器上推出了保护屏障选项,还在压电膜片上推出了不受气体类型和浓度影响的测量功能。”卡斯帕继续说道:“这种强大的耐腐蚀组合可提供同类的测量性能,测量范围从 1E-6 到 1333 mbar,测量精度从 2 到 1333 mbar,不受气体类型的影响。”
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