SENS4真空传感器VPM-7

VPM-7 SmartPirani ATM 传感器专为半导体负载锁定压力控制和其他需要准确测量相对于大气环境压力的真空应用而设计。与传统的负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案相比，它具有同类更高的性能，测量范围更广、精度更高、测量周期更快。SmartPirani ATM 基于一项正在申请许可的技术，该技术将导热性皮拉尼热损失真空计的可用测量范围扩大了 1-3 倍，从而确立了新的标准。 一体化多传感器传感器解决方案，VPM-7 是一款多传感器传感器，具有四个压力输出，结合了气压环境传感器、宽量程热损耗皮拉尼真空计、膜片传感器和相对于大气压力的信号，可优化现代负载锁定真空室的压力控制。隔膜传感器的读数不受气体影响，Abs压力范围为 2 至 1333 mbar。

超宽测量范围达 9 个量程

准确的大气开关功能

可靠的固态继电器控制

气压环境压力测量

0-10 VDC 可编程电压输出，可与其他供应商仿真

数字 RS-232 或 RS-485 接口

StableZero 漂移补偿

可直接替换 MKS 901P

用于诊断的真空温度传感器

RGB LED 彩色压力指示灯

可选耐腐蚀版本

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 NO（常开触点）

8 继电器 1 公共端

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 公共端

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 常开（常开触点）或模拟输出 2

14 继电器 3 公共端

15 继电器 3 常开（常开触点）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 转 USB、15 针 HD D-sub、电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 针 HD D-sub、电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 转 USB，9 针 D 型超微，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通讯器 USB，9 针 D 型超微，电源 (90 至 230 VAC)

产地：丹麦

测量范围：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

测量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼热导率（热损失）

测量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 压电电阻膜片（与气体无关）

测量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/压电读数

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：读数的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99 mbar：读数的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar：读数的 1 %

精度 100 至 800 mbar：读数的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：读数的 0.25 %

精度 1,100 至 1,333 mbar：读数的 0.5 %

Max测量分辨率：1.0E^-7 mbar

气压测量范围：300 至 1,200 mbar

气压精度：+/- 0.5 mbar

大气参考压力输出范围：-1333 至 + 300 mbar

真空温度传感器范围：-20 至 + 85℃

真空温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

传感器温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

传感器温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

温度补偿：+10 至 +50 ℃

输出信号 1：1 VDC / 十进制（1.0E^-6 mbar 时为 0.5VDC）

输出信号 2（MKS 901P、910、925 仿真）：1 VDC /10 年（1.0E^-5 托时为 1.0 VDC）

输出信号 3（MKS GP 275 Convectron）：0.375 至 5.659 VDC

输出信号 4 (MKS 523)：0.5 VDC / 十进制 (MKS 523)

输出信号 5 (Inficon PSG500, PSG502, PSG510, PSG512)：1.9 - 10 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR91)

输出信号 6 (Leybold TTR91, TTR96, TTR101)：1.5 至 8.5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x)

输出信号 7（MKS GP 275 Convectron）：1.9 至 9.1 VDC

输出信号 8 (MKS GP 390 MicroIon)：0.5 VDC / 10

输出信号 9（MKS 971、972、974B）：0.5 VDC / 十进制（MKS 971B、972B、974B）

输出信号 10（Inficon Gemini 输出 1）：1 VDC / 十进制

输出信号 11（Inficon Gemini 输出 2）：1.33 VDC / 十进制

输出信号 12（Inficon Gemini 输出 3）：0.6 VDC / 十进制

输出信号分辨率：16 位 (150 µV)

固态继电器触点额定值（可选）：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器触点耐久性：无限制（无机械磨损）

工作环境温度：-40 至 +50 ℃ (-40 至 +122 ℉)

介质温度：-20 至 +50 ℃ (-58 至 122 ℉)

存储环境温度：-40 至 +125 ℃ (-40 至 +257 ℉)

Max介质压力：10 bar

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP 40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（可热恢复）

真空工艺法兰材料：SS 1.4401 / AISI 316 不锈钢

外壳材料：SS 1.4307 / AISI 304L 不锈钢 / 铝 6061

真空暴露材料（介质润湿）：316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO₂、Si₃N₄、金、Viton、低放气环氧树脂、焊料、RO4305

工艺泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：欧盟指令 2015/863

固态设定值控制继电器认证：UL 认证： 文件 E76270

CSA 认证： 证书 1175739：通过 EN/IEC 60950-1 认证

MTBF（平均故障间隔时间）：13.092.170 小时/1494 年

故障率 FIT（及时故障，时间=10E+9 小时）：76,38

负载锁控制、半导体加工、PVD 涂层、分析仪器、真空炉、空间模拟